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专利号: 2021224342307
申请人: 苏州八术激光技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-19
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆加工用激光隐切装置,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)顶部固定设有防护罩(2),所述防护罩(2)内腔顶部固定设有液压杆(3),所述液压杆(3)一侧通过调节组件(4)固定连接有激光切割装置(5),所述液压杆(3)底端固定设有缓冲组件(6),所述缓冲组件(6)底部通过转轴连接有压板(7),所述箱体(1)内腔设有旋转机构(8),所述旋转机构(8)顶部固定设有切割台(9)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用激光隐切装置,其特征在于:所述防护罩(2)前侧表面通过铰轴连接有防护门(10),所述防护门(10)中部设有透明视窗(11)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用激光隐切装置,其特征在于:所述调节组件(4)由滑杆(12)、滑套(13)、锁紧螺栓(14)组成,所述滑套(13)套设在滑杆(12)外侧,所述锁紧螺栓(14)穿插设置在滑套(13)顶部。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆加工用激光隐切装置,其特征在于:所述缓冲组件(6)包括导向孔(15),所述导向孔(15)内腔穿插设有导向杆(16),所述导向杆(16)底部固定设有垫片(17),所述垫片(17)顶部与液压杆(3)底端之间固定连接有缓冲弹簧(18)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆加工用激光隐切装置,其特征在于:所述旋转机构(8)包括驱动电机(19)与转动柱(20),且所述转动柱(20)通过轴承穿插设置在箱体(1)顶部,所述驱动电机(19)顶部与转动柱(20)底部分别固定设有主动齿轮(21)与从动齿轮(22),且所述主动齿轮(21)与从动齿轮(22)之间啮合连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆加工用激光隐切装置,其特征在于:所述压板(7)底部表面与切割台(9)顶部表面均固定设有橡胶防滑垫。