1.晶圆抛光设备，包括L型底板(1)，其特征在于：所述L型底板(1)的顶部固定安装抛光电机(2)，所述抛光电机(2)的输出端固定安装有抛光盘(3)，所述抛光盘(3)的外表面活动连接有抛光棉(4)，所述L型底板(1)的外表面固定安装有限位结构(5)，所述L型底板(1)的外表面活动连接有防尘罩(6)，所述防尘罩(6)的外表面固定安装有偏心限位杆(7)，所述限位结构(5)的内表面固定安装有半圆限位块(8)，所述抛光盘(3)的外表面活动连接有螺纹杆(9)，所述螺纹杆(9)的外表面啮合连接有螺母(10)。

2.根据权利要求1所述的晶圆抛光设备，其特征在于：所述L型底板(1)的外表面固定安装有第一挤压盘(11)，所述第一挤压盘(11)的外表面活动连接有第二挤压盘(12)，所述第二挤压盘(12)的外表面活动连接有弹簧(13)，所述第二挤压盘(12)的外表面固定安装有方形隔板(14)，所述L型底板(1)的外表面固定安装有方形稳定块(15)。

3.根据权利要求1所述的晶圆抛光设备，其特征在于：所述螺母(10)的外表面与抛光棉(4)的外表面活动连接，所述螺纹杆(9)的外表面与抛光棉(4)的内表面活动连接。

4.根据权利要求1所述的晶圆抛光设备，其特征在于：所述防尘罩(6)的外表面与限位结构(5)的内表面活动连接，所述半圆限位块(8)的外表面与L型底板(1)的外表面固定焊接。

5.根据权利要求2所述的晶圆抛光设备，其特征在于：所述弹簧(13)的外表面与方形隔板(14)的外表面固定焊接。

6.根据权利要求2所述的晶圆抛光设备，其特征在于：所述第二挤压盘(12)的外表面与方形稳定块(15)的内表面活动连接，所述弹簧(13)的外表面与方形稳定块(15)的外表面固定焊接。