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专利号: 2024211410579
申请人: 山东鑫泓新材料有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-05-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种组合式碳化硅扩散炉管,包括炉管本体(1),其特征在于:所述炉管本体(1)的内壁设有均匀进气组件(2),所述炉管本体(1)的端插接在管帽(3)的中部,所述炉管本体(1)的内壁固定连接有两个导向条(4),两个所述导向条(4)之间滑动连接有石英舟(5)。

2.根据权利要求1所述的一种组合式碳化硅扩散炉管,其特征在于:所述均匀进气组件(2)包括开设在炉管本体(1)内壁中部的储气腔(201),所述储气腔(201)的顶部与两根进气管(202)相连通,所述储气腔(201)靠近炉管本体(1)中心的一侧开设有若干组进气孔(203)。

3.根据权利要求2所述的一种组合式碳化硅扩散炉管,其特征在于:若干组所述进气孔(203)等距分布,且每组中的进气孔(203)呈环形排列在炉管本体(1)的内壁表面。

4.根据权利要求1所述的一种组合式碳化硅扩散炉管,其特征在于:所述管帽(3)的中部设有贯穿窗(301),所述管帽(3)的内侧底部固定连接有两个电动推杆(302),两个所述电动推杆(302)的输出端之间固定连接有密封环(303)。

5.根据权利要求4所述的一种组合式碳化硅扩散炉管,其特征在于:所述密封环(303)的数量为若干个,且相邻两个密封环(303)之间固定连接有两个连接杆(304),若干个所述密封环(303)与若干组进气孔(203)一一对应,所述密封环(303)套设在进气孔(203)的外侧。

6.根据权利要求1所述的一种组合式碳化硅扩散炉管,其特征在于:所述石英舟(5)的内侧一面固定连接有若干组限位板(501),若干组所述限位板(501)之间等距分布,且每组限位板(501)的中部均放置有硅片(502)。

7.根据权利要求1所述的一种组合式碳化硅扩散炉管,其特征在于:所述石英舟(5)的两侧设有凸块(503),所述凸块(503)滑动连接在导向条(4)的一侧滑槽内。