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专利号: 2022223641927
申请人: 广州市晶泰电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种扩散炉管,其特征在于:所述扩散炉管包括试管形的石英内管、试管形的石英管帽、圆筒形的石英套管,所述石英管帽盖在石英内管的管口上,所述石英内管的中部套在石英套管中,所述石英套管的两端向内弯曲与石英内管的外侧面固接,所述石英套管与石英内管之间形成一圈圆环形的保护气体腔,所述石英套管上设有与保护气体腔连通的保护气体入口和保护气体出口。

2.根据权利要求1所述的扩散炉管,其特征在于:所述石英内管的管底为半球壳形。

3.根据权利要求1所述的扩散炉管,其特征在于:所述石英管帽的中心设有扩散气体入口。

4.根据权利要求1所述的扩散炉管,其特征在于:所述石英内管的管口外侧面为第一磨砂面,所述石英管帽的帽口内侧面为第二磨砂面,所述石英管帽盖在石英内管的管口上时,所述第一磨砂面与第二磨砂面贴合使石英管帽与石英内管的接触面密封。

5.根据权利要求1所述的扩散炉管,其特征在于:所述石英套管的长度大于扩散炉的炉体长度。