1.一种硅片扩散炉持续供气系统,其特征在于,包括:加热棒、密封筒、导气管、固定阀板和旋转阀板,所述加热棒同心设置密封筒中,所述导气管环形阵列设置在密封筒中并沿密封筒的长度方向延伸,所述固定阀板固定设置密封筒中并位于导气管的前端,所述固定阀板上设置有与导气管一一对应的连接孔,所述旋转阀板活动设置在固定阀板的正面,所述旋转阀板上设置有一个与连接孔对应的阀孔,所述密封筒前端设置有盖板,所述旋转阀板背面设置有延伸至盖板外侧的驱动轴,所述盖板上设置有出气管接头,所述密封筒外圆上设置有进气管接头。
2.根据权利要求1所述的硅片扩散炉持续供气系统,其特征在于,所述驱动轴上设置有驱动轮。
3.根据权利要求1所述的硅片扩散炉持续供气系统,其特征在于,所述进气管接头位于密封筒外圆前端。
4.根据权利要求1所述的硅片扩散炉持续供气系统,其特征在于,所述加热棒采用电加热棒,所述加热棒上间隔设置有翅片。
5.根据权利要求1所述的硅片扩散炉持续供气系统,其特征在于,所述密封筒中间隔设置有支架,所述支架上设置有与加热棒及导气管对应的通孔。
6.根据权利要求1所述的硅片扩散炉持续供气系统,其特征在于,所述密封筒外壁设置有保温层。