1.一种纳米气敏传感器的硅基底结构,其特征在于:包括基底层(1),所述基底层(1)的上表面设置有凸出部分(2),所述凸出部分(2)设置为多个,多个凸出部分(2)呈矩阵状分布,所述凸出部分(2)的外表面设置有凸点(3)。
2.根据权利要求1所述的纳米气敏传感器的硅基底结构,其特征在于:所述凸出部分(2)为梯台状,且靠近基底层(1)一端的面积大。
3.根据权利要求1所述的纳米气敏传感器的硅基底结构,其特征在于:所述凸出部分(2)为圆台状,且靠近基底层(1)一端的面积大。
4.根据权利要求1所述的纳米气敏传感器的硅基底结构,其特征在于:所述凸出部分(2)与基底层(1)采用一体成型工艺。
5.根据权利要求1所述的纳米气敏传感器的硅基底结构,其特征在于:所述凸点(3)与凸出部分(2)采用一体成型工艺。
6.根据权利要求1所述的纳米气敏传感器的硅基底结构,其特征在于:所述基底层(1)的底部开设有空腔(4),所述空腔(4)呈梯台状,且空腔(4)底端的面积大。