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专利号: 2024211167587
申请人: 苏州中芯微纳传感科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种三维纳米结构声表面波气敏传感器,其特征在于:包括外壳(1),所述外壳(1)的内部设置有气体检测机构,所述气体检测机构包括晶体基片(5),所述晶体基片(5)的顶部固定安装有三维纳米结构板(9),所述三维纳米结构板(9)呈U型结构,所述三维纳米结构板(9)的内部设置有气敏薄膜(10),所述气敏薄膜(10)贴合在三维纳米结构板(9)上。

2.根据权利要求1所述的三维纳米结构声表面波气敏传感器,其特征在于:所述晶体基片(5)的顶部固定安装有输入叉指换能器(6)和输出叉指换能器(7),所述输入叉指换能器(6)设置在三维纳米结构板(9)的一侧,所述输出叉指换能器(7)设置在三维纳米结构板(9)的另一侧。

3.根据权利要求1所述的三维纳米结构声表面波气敏传感器,其特征在于:所述外壳(1)的底部固定穿设有电极引脚(2),所述电极引脚(2)设置有两个,且两个电极引脚(2)关于晶体基片(5)呈镜像分布。

4.根据权利要求2所述的三维纳米结构声表面波气敏传感器,其特征在于:所述输入叉指换能器(6)的两端均固定安装有输入导线(8),两个输入导线(8)均固定连接在其中一个电极引脚(2)上。

5.根据权利要求2所述的三维纳米结构声表面波气敏传感器,其特征在于:所述输出叉指换能器(7)的两端均固定安装有输出导线(11),两个输出导线(11)均固定连接在另一个电极引脚(2)上。

6.根据权利要求1所述的三维纳米结构声表面波气敏传感器,其特征在于:所述外壳(1)的内部固定安装有绝缘垫(4),所述绝缘垫(4)设置在两个电极引脚(2)之间,所述晶体基片(5)固定安装在绝缘垫(4)上。

7.根据权利要求1所述的三维纳米结构声表面波气敏传感器,其特征在于:所述外壳(1)的顶部开设有气流孔,且气流孔内固定安装有钢丝网罩(3)。