1.一种集成电路板蚀刻机，其特征在于，包括蚀刻腔、基板电极、感应电极、气体注入管以及自检机构，所述基板电极设置在蚀刻腔内底面，所述感应电极以及气体注入管设置在蚀刻腔的顶面；所述自检机构包括第一电动滑台、连杆、模拟基板、穿透板、磁性板、屏蔽块、第二电动滑台、电动推杆、穿行杆、卡接机构、主控单元以及激光雷达，所述第一电动滑台相对嵌入在蚀刻腔内侧壁，所述穿透板位于第一电动滑台之间，所述连杆一端与第一电动滑台的动子侧壁连接，另一端与穿透板侧壁连接，所述模拟基板设置在穿透板底面，所述磁性板阵列式设置在穿透板顶面，并对模拟基板顶面进行覆盖，所述屏蔽块设置在磁性板上，其内设置有十字型槽，所述磁性板内侧壁四个朝向均设置有电磁铁，所述十字型槽延伸到屏蔽块的侧壁，所述第二电动滑台设置在穿透板顶面，并位于屏蔽块外侧，所述电动推杆设置在第二电动滑台的动子顶面，其输出轴与穿行杆连接，所述十字型槽位于穿行杆的移动路径一侧，所述穿行杆插入到十字型槽中通过卡接机构进行卡接，所述激光雷达设置在连杆底面，并朝向模拟基板；所述主控单元设置在蚀刻腔内侧壁，并分别与第一电动滑台、磁性板、第二电动滑台、电动推杆、卡接机构以及激光雷达数据连接。

2.根据权利要求1所述的一种集成电路板蚀刻机，其特征在于，还包括射频电源，所述射频电源设置在蚀刻腔外壁上，并分别与基板电极以及感应电极电连接，所述主控单元与射频电源数据连接。

3.根据权利要求1所述的一种集成电路板蚀刻机，其特征在于，所述卡接机构包括双轴电机、丝杆、滑动板以及插入杆，所述穿行杆远离电动推杆的端部设置有容纳槽，所述容纳槽通过通孔与穿行杆外部连通，所述双轴电机设置在容纳槽中，其输出轴与丝杆一端连接，所述丝杆另一端与容纳槽内壁转动连接，所述滑动板与容纳槽侧面滑动连接，所述丝杆穿过滑动板，并与滑动板螺接，所述插入杆设置在滑动板侧壁上，所述通孔位于插入杆的移动路径上，所述主控单元与双轴电机数据连接。

4.根据权利要求3所述的一种集成电路板蚀刻机，其特征在于，所述卡接机构还包括轴承，所述轴承设置在容纳槽侧壁，所述丝杆远离双轴电机的端部与轴承连接。

5.根据权利要求3所述的一种集成电路板蚀刻机，其特征在于，所述滑动板侧面设置有滑块，所述容纳槽侧壁设置有滑槽，所述滑块位于滑槽中。

6.根据权利要求1所述的一种集成电路板蚀刻机，其特征在于，还包括真空泵，所述真空泵设置在蚀刻腔顶面，用于对蚀刻腔内部进行抽真空，所述主控单元与真空泵数据连接。

7.根据权利要求1所述的一种集成电路板蚀刻机，其特征在于，还包括按键面板，所述按键面板设置在蚀刻腔外壁上，所述主控单元与按键面板数据连接。

8.根据权利要求1所述的一种集成电路板蚀刻机，其特征在于，所述自检机构还包括发射管、接收管以及反射镜，所述发射管和接收管对称设置在穿行杆端面，并朝向二者的连线中心方向倾斜，所述反射镜设置在十字型槽的中心处底面，并位于发射管和接收管的移动路径下方，所述主控单元与发射管以及接收管数据连接。

9.根据权利要求1所述的一种集成电路板蚀刻机，其特征在于，还包括密封门，所述密封门设置在蚀刻腔侧壁，并位于基板电极一侧。