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专利号: 2024106800339
申请人: 江苏福旭科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-21
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单晶硅片高效对心的边缘处理设备,其特征在于,包括:

硅片承载机构(1),所述硅片承载机构(1)包括硅片承载基台(101),所述硅片承载基台(101)顶部环向阵列设置有多个偏心导向通道(102),所述偏心导向通道(102)贯穿至所述硅片承载基台(101)底部;

对心调控机构(2),所述对心调控机构(2)环向阵列设置在所述硅片承载基台(101)周侧且两者滑动配合,所述对心调控机构(2)与所述偏心导向通道(102)一一对应设置,所述对心调控机构(2)包括滑动配合在对应偏心导向通道(102)中的对心调控杆(201),环向布置的各个对心调控杆(201)同步运动,所述对心调控杆(201)顶部固定设置有支撑板(202),所述支撑板(202)顶部固定设置有硅片定位柱(203),所述硅片定位柱(203)用于抵压在待处理单晶硅片周侧;

导向机构(3),所述导向机构(3)环向阵列设置在所述硅片承载基台(101)顶部,且所述导向机构(3)与所述硅片承载基台(101)之间径向滑动配合;所述导向机构(3)位于相邻两所述对心调控机构(2)之间,且所述导向机构(3)与其两侧的对心调控机构(2)均滑动配合;

以及边缘处理机构(4),所述边缘处理机构(4)同轴心转动设置在所述硅片承载基台(101)上方;其中,所述边缘处理机构(4)包括动力组件(5),所述动力组件(5)周侧环向阵列设置有与所述导向机构(3)一一对应的径向复位组件(6),所述径向复位组件(6)与所述动力组件(5)之间径向滑动配合,所述导向机构(3)上滑动设置有活动座,所述径向复位组件(6)转动设置在对应活动座顶部,所述径向复位组件(6)内部滑动设置有边缘处理组件(7),所述边缘处理组件(7)紧密贴合在待处理单晶硅片周侧;

所述硅片承载基台(101)顶部固定设置有与其同轴心的中心承载座(103),所述偏心导向通道(102)环向阵列布置在所述中心承载座(103)周侧,所述硅片承载基台(101)顶部环向阵列设置有与所述偏心导向通道(102)一一对应的径向限位滑槽(104);

所述硅片承载基台(101)周侧面环向阵列设置有与所述偏心导向通道(102)一一对应的导向滑腔(105),所述导向滑腔(105)一侧开设有第一限位腔道(106),所述导向滑腔(105)另一侧开设有第二限位腔道(107),所述第一限位腔道(106)与所述第二限位腔道(107)上下布置且两者相互平行设置;

所述硅片承载基台(101)内部环向阵列设置有与所述导向滑腔(105)一一对应的齿轮腔(108),所述齿轮腔(108)与对应第一限位腔道(106)之间相连通,所述硅片承载基台(101)顶部设置有与所述齿轮腔(108)一一对应的第一轴向口(109),所述第一轴向口(109)与对应齿轮腔(108)之间相连通;

所述硅片承载基台(101)内部环向阵列设置有与所述齿轮腔(108)一一对应的传动控制腔(110),所述传动控制腔(110)与所述齿轮腔(108)之间通过第二轴向口(111)相连通,所述硅片承载基台(101)底部环向阵列设置有与所述传动控制腔(110)一一对应的第三轴向口(112),所述第三轴向口(112)与所述传动控制腔(110)之间相连通;

所述对心调控机构(2)还包括滑动设置在所述导向滑腔(105)内部的对心控制板(204),所述对心控制板(204)一侧固定设置有位于所述第一限位腔道(106)内部的第一齿板(205),所述对心控制板(204)另一侧固定设置有位于所述第二限位腔道(107)内部的第二齿板(206);

所述硅片承载基台(101)周侧面固定设置有外延耳座(207),所述外延耳座(207)底部通过转轴固定设置有第一控制齿轮(208)和第二控制齿轮(209),所述第一控制齿轮(208)与所述第二齿板(206)相啮合,所述硅片承载基台(101)周侧面转动设置有与其同轴心的第一外齿环(8),所述第一外齿环(8)与其周侧的各个第二控制齿轮(209)均相互啮合,其中一所述外延耳座(207)顶部安装的对心控制电机(9)输出端与对应转轴连接。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片高效对心的边缘处理设备,其特征在于,所述对心调控机构(2)还包括转动设置在所述齿轮腔(108)内部的第三控制齿轮(210),所述第三控制齿轮(210)与所述第一齿板(205)相啮合,所述第三控制齿轮(210)顶部固定设置有与对应第一轴向口(109)转动配合的第一连接轴(211),所述硅片承载基台(101)上方设置有与其同轴心的支撑环座(10),所述第一连接轴(211)顶部转动设置在所述支撑环座(10)底部;

所述第三控制齿轮(210)底部固定设置有与对应第二轴向口(111)转动配合的第二连接轴,所述第二连接轴底部固定设置有位于传动控制腔(110)内部的第一传动轮(212),所述传动控制腔(110)内部设置有与所述第三轴向口(112)同轴心的第三连接轴(213),所述第三连接轴(213)周侧面固定设置有位于传动控制腔(110)内部的第二传动轮(214),所述第二传动轮(214)与所述第一传动轮(212)之间通过传动带(215)连接。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片高效对心的边缘处理设备,其特征在于,所述硅片承载基台(101)下方设置有与所述第三轴向口(112)同轴心的第四控制齿轮(216),所述第四控制齿轮(216)固定设置在所述第三连接轴(213)底部,所述硅片承载基台(101)底部滑动设置有第三齿板(217),所述第三齿板(217)与对应第四控制齿轮(216)相啮合,所述第三齿板(217)固定设置在所述对心调控杆(201)底部,所述支撑板(202)一侧固定设置有第一联动杆(218),所述支撑板(202)另一侧固定设置有第二联动杆(219)。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片高效对心的边缘处理设备,其特征在于,所述导向机构(3)包括滑动设置在对应径向限位滑槽(104)内部的径移座(301),所述径移座(301)表面的安装孔中固定安装有联动管(302),所述第一联动杆(218)滑动配合在对应联动管(302)内部,所述第二联动杆(219)滑动配合在对应联动管(302)内部,所述径移座(301)顶部固定设置有T形导向板(303),所述T形导向板(303)顶部设置有导向槽道(304),所述活动座滑动配合在所述导向槽道(304)内部。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片高效对心的边缘处理设备,其特征在于,所述动力组件(5)包括同轴心转动设置在所述支撑环座(10)周侧面的第二外齿环(501),所述第二外齿环(501)顶部固定设置有多个弧形驱动板(502);

所述第二外齿环(501)周侧设置有安装在其中一所述外延耳座(207)顶部的边缘处理控制电机,所述边缘处理控制电机输出轴连接有与所述第二外齿环(501)相啮合的边缘处理齿轮。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片高效对心的边缘处理设备,其特征在于,所述径向复位组件(6)包括径向滑动配合在对应弧形驱动板(502)表面通孔内的径向复位管(601),所述径向复位管(601)内部设置有弹性复位件,所述径向复位管(601)内壁设置有轴向限位滑道(602),所述活动座顶部转动设置有旋转座(603),所述径向复位管(601)的开口端固定设置在所述旋转座(603)内部。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅片高效对心的边缘处理设备,其特征在于,所述边缘处理组件(7)包括滑动设置在所述径向复位管(601)内部的径向延伸杆(701),所述径向延伸杆(701)周侧面固定设置有与所述轴向限位滑道(602)滑动配合的限位凸件(702);

所述径向延伸杆(701)一端固定设置有U形板(703),所述U形板(703)内部设置有角度调控腔(704),所述角度调控腔(704)内部上下对称设置有两个角度调控齿板(705),所述角度调控腔(704)内部转动设置有与两个角度调控齿板(705)螺纹配合的双螺杆(706);

所述U形板(703)内壁设置有与所述角度调控腔(704)相连通的传动口(707),所述传动口(707)内部通过转轴固定设置有V形磨削板(708),上下设置的两所述V形磨削板(708)对称设置,所述传动口(707)内部的转轴上固定设置有角度调控齿轮(709),所述角度调控齿轮(709)与对应角度调控齿板(705)相啮合。