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专利号: 202423245067X
申请人: 苏州岽睿微电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单晶硅片分拣设备,包括安装盒(1),其特征在于:所述安装盒(1)的下表面开设有滑槽(2),所述安装盒(1)内表面底部的中央固定连接有中间块(3),所述安装盒(1)的右表面固定安装有一号电机(4),所述一号电机(4)输出轴的另一端固定套接有螺纹杆(5),所述螺纹杆(5)的左端依次贯穿安装盒(1)和中间块(3)并延伸至中间块(3)的内部,所述螺纹杆(5)的外表面螺纹套接有一号活动块(6),所述一号活动块(6)外表面的上侧固定套接有一号带动杆(7),所述一号带动杆(7)的内表面活动连接有二号活动块(8),所述二号活动块(8)外表面的上侧固定套接有二号带动杆(9),所述二号带动杆(9)的内表面活动连接有三号活动块(10),所述三号活动块(10)外表面的上侧固定套接有三号带动杆(11),所述三号带动杆(11)的内表面活动连接有四号活动块(12),所述一号活动块(6)、二号活动块(8)、三号活动块(10)和四号活动块(12)均和滑槽(2)的内表面活动连接,所述一号活动块(6)、二号活动块(8)、三号活动块(10)和四号活动块(12)的底端均贯穿安装盒(1)并延伸至安装盒(1)的下表面且固定连接有安装套(13),所述安装套(13)的内表面活动套接有负压吸盘(14)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片分拣设备,其特征在于:所述安装套(13)的内表面活动套接有位于负压吸盘(14)上方的圆块(15),所述安装套(13)的外表面固定连接有固定板(17),所述圆块(15)的内表面活动套接有卡销(16),所述卡销(16)的外端依次贯穿圆块(15)、安装套(13)和固定板(17)并延伸至固定板(17)的外侧且固定连接有拨动板(18),所述拨动板(18)外表面的左右两侧均固定连接有限位条(20),所述限位条(20)的另一端贯穿固定板(17)并延伸至固定板(17)的内侧且固定连接有卡块(21),所述卡销(16)的外表面活动套接有弹簧(19),所述弹簧(19)的外端和拨动板(18)的内表面固定连接,所述弹簧(19)的另一端和固定板(17)的外表面固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片分拣设备,其特征在于:所述安装盒(1)的上表面固定连接有连接臂(22),所述连接臂(22)外表面的后侧活动套接有固定套(23),所述固定套(23)的下表面固定连接有活动板(26),所述活动板(26)的上表面固定安装有位于固定套(23)内侧的二号电机(24),所述二号电机(24)输出轴的另一端固定套接有旋转轴(25),所述旋转轴(25)的顶端贯穿连接臂(22)并延伸至连接臂(22)的内部,所述旋转轴(25)的外表面和连接臂(22)的内表面固定套接。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片分拣设备,其特征在于:所述活动板(26)下表面的左右两侧均固定连接有活动杆(29),所述活动杆(29)的外表面活动套接有限位套(30),所述限位套(30)的底端固定连接有底板(31),所述底板(31)的上表面固定连接有位于限位套(30)之间的连接套(28),所述连接套(28)的内表面固定安装有气压缸(27),所述气压缸(27)的顶端和活动板(26)的下表面固定连接。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片分拣设备,其特征在于:所述底板(31)的上表面固定连接有位于限位套(30)左侧的放置台(32),所述底板(31)上表面的前侧固定连接有安装板(33),所述安装板(33)内表面的右侧活动安装有从动轮(34),所述从动轮(34)的前后两端均贯穿安装板(33)并延伸至安装板(33)的外侧。

6.根据权利要求4所述的一种单晶硅片分拣设备,其特征在于:所述底板(31)前表面的左侧固定安装有三号电机(35),所述三号电机(35)输出轴的另一端固定套接有圆轴(36),所述圆轴(36)的后端贯穿安装板(33)并延伸至安装板(33)的后表面,所述圆轴(36)的外表面和安装板(33)的内表面活动套接,所述底板(31)上表面的左侧固定安装有表面检测器(39)。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅片分拣设备,其特征在于:所述圆轴(36)的外表面固定套接有位于安装板(33)内侧的主动轮(37),所述主动轮(37)通过传动带(38)和从动轮(34)传动连接。