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专利号: 2018112086641
申请人: 江苏英锐半导体有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2024-09-26
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置,包括电机(1)、传动轴(2)和滚磨(3),滚磨(3)左侧壁中央区域设置有固定槽,传动轴(2)左端与电机(1)右侧壁输出端连接,并且传动轴(2)右端插入固定槽内并与固定槽内侧壁连接;其特征在于,还包括底座(4)、四组支腿(5)、两组支撑柱(6)、顶板(7)、底板(8)、多组支撑杆(9)、多组固定座(10)和两组调节螺纹杆(11),所述四组支腿(5)顶端分别与底座(4)底部左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接,所述两组支撑柱(6)底端和顶端分别与底座(4)顶部和顶板(7)底部左前侧和右前侧连接,所述底座(4)上设置有多组下通孔,所述多组支撑杆(9)底端分别穿过多组下通孔并与底板(8)顶部连接,所述底板(8)左半区域和右半区域分别设置有两组调节孔,并在两组调节孔内侧壁分别设置有与两组调节螺纹杆(11)相对应的内螺纹,所述两组调节螺纹杆(11)顶端分别螺装通过两组调节孔并与底座(4)底部左半区域和右半区域可转动连接,并在两组调节螺纹杆(11)底端分别设置有两组旋转板(12),所述多组固定座(10)分别可转动安装在多组支撑杆(9)顶端,并在多组固定座(10)顶部分别设置有多组定位槽;还包括移动板(13)、左移动轨道(14)、右移动轨道、保护壳(15)、两组连接轴(16)、两组左滑轮、固定轴(17)和右滑轮(18),所述左移动轨道(14)和右移动轨道底端分别安装在移动板(13)顶部左端和右端,并在左移动轨道(14)右侧壁和右移动轨道左侧壁上分别设置有左滑槽和右滑槽,所述保护壳(15)内设置有保护腔,并在保护壳(15)右侧壁设置有安装口,安装口与保护腔相通,所述保护壳(15)右侧壁设置有挡盖(19),所述电机(1)位于保护壳(15)内,所述传动轴(2)左端穿过挡盖(19),所述两组连接轴(16)左端和右端分别与两组左滑轮和保护壳(15)左侧壁连接,所述两组左滑轮均位于左滑槽内,所述固定轴(17)左端和右端分别与滚磨(3)右侧壁中央区域和右滑轮(18)连接,所述右滑轮(18)位于右滑槽内;还包括多组齿轮(20)、多组连接杆(21)、多组固定板(22)、压板(23)、多组方形插杆(24)和两组固定弹簧(25),所述顶板(7)上设置有多组上通孔,所述多组连接杆(21)顶端分别与多组齿轮(20)底部中央区域连接,并且多组连接杆(21)底端分别穿过多组上通孔并与多组固定板(22)顶部中央区域连接,多组齿轮(20)依次啮合,所述两组固定弹簧(25)顶端和底端分别与压板(23)底部和顶板(7)顶部左半区域和右半区域连接,所述多组齿轮(20)顶部中央区域分别设置有多组方形插槽,所述多组方形插杆(24)均安装在压板(23)底部,并且多组方形插杆(24)底端分别插入多组方形插槽内。

2.如权利要求1所述的一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置,其特征在于,还包括两组限位杆(26),所述移动板(13)左半区域和右半区域分别设置有两组限位孔,并在底座(4)顶部左半区域和右半区域分别设置有多组左限位槽和多组右限位槽,所述两组限位杆(26)底端分别穿过两组限位孔并插入与两组限位孔相对应的一组左限位槽和一组右限位槽内。

3.如权利要求2所述的一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置,其特征在于,还包括两组连接板(27)和两组限位弹簧(28),所述两组限位弹簧(28)顶端和底端分别与两组连接板(27)底部和移动板(13)顶部左半区域和右半区域连接,所述两组限位杆(26)上半区域分别位于两组限位弹簧(28)内部,并且两组限位杆(26)顶端分别与两组连接板(27)底部中央区域连接。

4.如权利要求3所述的一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置,其特征在于,还包括多组上滚珠(29)和多组下滚珠,所述多组上通孔和多组下通孔内侧壁上分别设置有多组上弧形槽和多组下弧形槽,所述多组上滚珠(29)和多组下滚珠分别位于多组上弧形槽和多组下弧形槽内,并且多组上滚珠(29)和多组下滚珠分别与多组连接杆(21)和多组支撑杆(9)外壁接触。

5.如权利要求4所述的一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置,其特征在于,还包括多组上防滑垫(30)和多组下防滑垫,所述多组上防滑垫(30)和多组下防滑垫分别安装在多组固定板(22)底部和多组固定座(10)内侧壁上。

6.如权利要求5所述的一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置,其特征在于,还包括两组限位轴(31)、两组前支座(32)和两组后支座,所述移动板(13)左半区域和右半区域分别设置有两组穿孔,所述两组限位轴(31)分别穿过两组穿孔,所述两组前支座(32)和两组后支座分别安装在两组限位轴(31)前端和后端,并且两组前支座(32)和两组后支座底端均与底座(4)顶部连接。

7.如权利要求6所述的一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置,其特征在于,还包括两组移动把手(33),所述两组移动把手(33)分别安装在移动板(13)左端和右端。

8.如权利要求7所述的一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置,其特征在于,还包括四组防滑脚板(32),所述四组防滑脚板(32)分别安装在四组支腿(5)底端。