1.一种碳化硅片生产用加热退火装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的内部设置有驱动机构（2），所述底座（1）的顶部固定安装有安装箱（3），所述安装箱（3）的顶部固定安装有固定箱（4），所述固定箱（4）的左侧固定安装有退火箱（5），所述退火箱（5）的内部设置有水冷箱（6），所述水冷箱（6）的内部设置有放置箱（7），所述退火箱（5）的顶部设置有盖板（8），所述固定箱（4）的顶部固定安装有两个循环泵箱（9），两个所述循环泵箱（9）的输入端均固定安装有抽水管（10），两个所述循环泵箱（9）的输出端均固定安装有连接管（11），两个所述连接管（11）远离循环泵箱（9）的一端固定安装有冷却储水箱（12），所述冷却储水箱（12）的右侧固定安装有进水管（13）；

所述驱动机构（2）包括伺服电机（201），所述底座（1）的内底壁固定安装有伺服电机（201），所述伺服电机（201）的输出轴固定连接有螺杆（202），所述螺杆（202）的外表面套接有移动块（203），所述移动块（203）的顶部固定安装有连接块（204），所述连接块（204）的顶部固定安装有支撑块（205），所述支撑块（205）的顶部固定安装有固定块（206），所述固定块（206）的内部固定安装有加热箱（207）。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用加热退火装置，其特征在于：所述底座（1）的顶部开设有与连接块（204）相适配的移动槽，且移动块（203）的内部开设有与螺杆（202）相适配的螺纹槽。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用加热退火装置，其特征在于：所述加热箱（207）的右侧开设有与退火箱（5）相适配的开口，且加热箱（207）和退火箱（5）位于同一水平位置。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用加热退火装置，其特征在于：两个所述循环泵箱（9）的内部均设置有循环泵，且两个所述循环泵箱（9）的顶部均开设有与两个所述连接管（11）相适配的第一通槽。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用加热退火装置，其特征在于：两个所述循环泵箱（9）的左侧均开设有与两个所述抽水管（10）相适配的第二通槽。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅片生产用加热退火装置，其特征在于：所述安装箱（3）和固定箱（4）的正面均设置有开关门，且冷却储水箱（12）位于安装箱（3）的右侧，冷却储水箱（12）位于底座（1）的顶部。