1.一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,包括:底板(1);
其特征在于,还包括:
第一连接板(2),其固定于所述底板(1)一侧外壁;
第二连接板(3),其贴合与所述第一连接板(2)外壁;
装配槽(4),其开设于所述第一连接板(2)和第二连接板(3)外壁;
第一固定螺栓(5),其贯穿于所述装配槽(4)内部;
连接件(6),其固定于所述底板(1)另一侧外壁;
转轴(7),其设置于所述连接件(6)外壁;
第一收紧螺栓(8),其连接于所述转轴(7)外壁;
侧板(9),其连接于所述连接件(6)末端;
固定条(10),其固定于所述侧板(9)表面;
槽位(11),其设置于所述固定条(10)上表面;
螺纹口(12),其开设于所述固定条(10)一端;
对接组件(13),其固定于所述侧板(9)一端外壁。
2.根据权利要求1所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述底板(1)相互间通过第一连接板(2)、第二连接板(3)和第一固定螺栓(5)之间构成固定结构,且第一连接板(2)和第二连接板(3)均与底板(1)之间的连接方式为焊接。
3.根据权利要求1所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述连接件(6)通过转轴(7)与底板(1)之间构成转动结构,且连接件(6)与侧板(9)之间的连接方式为焊接。
4.根据权利要求1所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述侧板(9)与底板(1)之间呈平行分布,所述固定条(10)上表面等距离分布有槽位(11)。
5.根据权利要求1所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述对接组件(13)包括:
固定头(1301);
连接轴(1302),其设置于所述固定头(1301)上端外壁;
螺纹筒(1303),其固定于所述固定头(1301)上端;
第一螺纹杆(1304),其连接于螺纹筒(1303)右端;
第二收紧螺栓(1305),其连接于所述第一螺纹杆(1304)外壁;
螺纹头(1306),其连接于所述第一螺纹杆(1304)末端;
第二螺纹杆(1307),其连接于所述螺纹头(1306)下端;
第三收紧螺栓(1308),其连接于所述第二螺纹杆(1307)外壁。
6.根据权利要求5所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述螺纹筒(1303)通过连接轴(1302)与固定头(1301)之间构成转动结构,且螺纹筒(1303)与固定头(1301)之间呈垂直分布。
7.根据权利要求5所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述第一螺纹杆(1304)与螺纹筒(1303)之间为螺纹连接,且第一螺纹杆(1304)与螺纹头(1306)之间为活动连接。
8.根据权利要求5所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述第一螺纹杆(1304)通过第二收紧螺栓(1305)与螺纹筒(1303)之间构成固定结构,且第一螺纹杆(1304)的中垂线与螺纹筒(1303)的中垂线相重合。
9.根据权利要求5所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述第二螺纹杆(1307)与螺纹头(1306)之间为螺纹连接,且第二螺纹杆(1307)与螺纹口(12)之间为螺纹连接。