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专利号: 2021212293827
申请人: 无锡市芯飞通光电科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,包括:底板(1);

其特征在于,还包括:

第一连接板(2),其固定于所述底板(1)一侧外壁;

第二连接板(3),其贴合与所述第一连接板(2)外壁;

装配槽(4),其开设于所述第一连接板(2)和第二连接板(3)外壁;

第一固定螺栓(5),其贯穿于所述装配槽(4)内部;

连接件(6),其固定于所述底板(1)另一侧外壁;

转轴(7),其设置于所述连接件(6)外壁;

第一收紧螺栓(8),其连接于所述转轴(7)外壁;

侧板(9),其连接于所述连接件(6)末端;

固定条(10),其固定于所述侧板(9)表面;

槽位(11),其设置于所述固定条(10)上表面;

螺纹口(12),其开设于所述固定条(10)一端;

对接组件(13),其固定于所述侧板(9)一端外壁。

2.根据权利要求1所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述底板(1)相互间通过第一连接板(2)、第二连接板(3)和第一固定螺栓(5)之间构成固定结构,且第一连接板(2)和第二连接板(3)均与底板(1)之间的连接方式为焊接。

3.根据权利要求1所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述连接件(6)通过转轴(7)与底板(1)之间构成转动结构,且连接件(6)与侧板(9)之间的连接方式为焊接。

4.根据权利要求1所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述侧板(9)与底板(1)之间呈平行分布,所述固定条(10)上表面等距离分布有槽位(11)。

5.根据权利要求1所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述对接组件(13)包括:

固定头(1301);

连接轴(1302),其设置于所述固定头(1301)上端外壁;

螺纹筒(1303),其固定于所述固定头(1301)上端;

第一螺纹杆(1304),其连接于螺纹筒(1303)右端;

第二收紧螺栓(1305),其连接于所述第一螺纹杆(1304)外壁;

螺纹头(1306),其连接于所述第一螺纹杆(1304)末端;

第二螺纹杆(1307),其连接于所述螺纹头(1306)下端;

第三收紧螺栓(1308),其连接于所述第二螺纹杆(1307)外壁。

6.根据权利要求5所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述螺纹筒(1303)通过连接轴(1302)与固定头(1301)之间构成转动结构,且螺纹筒(1303)与固定头(1301)之间呈垂直分布。

7.根据权利要求5所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述第一螺纹杆(1304)与螺纹筒(1303)之间为螺纹连接,且第一螺纹杆(1304)与螺纹头(1306)之间为活动连接。

8.根据权利要求5所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述第一螺纹杆(1304)通过第二收紧螺栓(1305)与螺纹筒(1303)之间构成固定结构,且第一螺纹杆(1304)的中垂线与螺纹筒(1303)的中垂线相重合。

9.根据权利要求5所述的一种石英晶圆退火用组装式碳化硅舟,其特征在于,所述第二螺纹杆(1307)与螺纹头(1306)之间为螺纹连接,且第二螺纹杆(1307)与螺纹口(12)之间为螺纹连接。