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专利号: 2020232985667
申请人: 金寨嘉悦新能源科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单晶硅片退火冷却箱,包括冷却箱本体(1),其特征在于:冷却箱本体(1)的底部连接有多个支架(5),冷却箱本体(1)内开设有冷却槽,所述冷却槽的内壁沿竖直中垂线对称开设有两个滑槽(2),滑槽(2)内滑动连接有滑板(3),两个滑板(3)之间固接有支撑板(4),滑板(3)上设置有夹持机构,所述夹持机构用于夹持位于支撑板(4)上方的单晶硅片,冷却箱本体(1)上转动连接有用于密封的连接盖(11);

所述冷却槽的内壁沿水平中垂线对称设置有第一冷却筒(6)和第二冷却筒(9),第一冷却筒(6)和第二冷却筒(9)内均固接有风机(15),风机(15)的吹风端朝向支撑板(4),支撑板(4)上开设有透气孔(21);

所述夹持机构包括开设于滑板(3)上的连接槽,所述连接槽内活动连接有固定块(13),固定块(13)的底部固接有与所述连接槽连接的弹簧(12),滑槽(2)的内顶部固接有用于压动固定块(13)的驱动块(16),支撑板(4)的顶面开设有固定槽,所述固定槽内活动连接有连接板(14),固定块(13)和连接板(14)之间固接有连接架(23),两个连接板(14)相靠近的一侧均固接有夹板(17),支撑板(4)的顶部固接有夹座(20),所述单晶硅片位于夹板(17)和夹座(20)之间。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片退火冷却箱,其特征在于:固定块(13)的两侧均固接有第一连接块(18),第一连接块(18)为倾斜设置、且第一连接块(18)远离固定块(13)一端的高度低于固定块(13)的高度,驱动块(16)的两侧均固接有第二连接块,所述第二连接块为倾斜设置,且所述第二连接块远离驱动块(16)一端的高度高于驱动块(16)的高度。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片退火冷却箱,其特征在于:支撑板(4)的顶面固接有两个垫块(22),垫块(22)的高度与夹座(20)的高度相等。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片退火冷却箱,其特征在于:透气孔(21)的内壁固接有滤网(19)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片退火冷却箱,其特征在于:支撑板(4)伸出所述冷却槽的一侧固接有密封盖(8),密封盖(8)远离支撑板(4)的一侧固接有把手(7),连接盖(11)上开设有与密封盖(8)卡合的密封孔(10)。