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专利号: 202323187700X
申请人: 昆明台浩半导体科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-27
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种半导体除尘装置,包括底座(100),其特征在于:所述底座(100)上端面固定连接有基座(103),所述基座(103)内设有凹槽(104),所述基座(103)内设有螺纹槽(112),所述螺纹槽(112)内转动连接有第二螺纹轴(113),所述螺纹槽(112)左右滑动连接有螺纹块(114),所述螺纹块(114)与所述第二螺纹轴(113)螺纹连接,所述底座(100)上端面固定连接有支架(101),所述支架(101)固定连接有动力架(107),所述动力架(107)内转动连接有第一螺纹轴(108),所述第一螺纹轴(108)螺纹连接有连接块(109),所述连接块(109)下端面固定连接有滑动块(115),所述滑动块(115)与所述动力架(107)左右滑动连接,所述滑动块(115)内固定连接有前后对称的电动滑轨(116),所述电动滑轨(116)动力连接有动力块(117),所述下端面固定连接有推杆架(118),所述推杆架(118)内固定连接有电动推杆(119),所述电动推杆(119)动力连接有连接架(120),所述连接架(120)固定连接有竖直朝下的吸尘架(121),所述吸尘架(121)上端面固定连接有吹气泵(123)和吸气泵(124),所述吸尘架(121)内固定连接有吹气管(122),所述吹气泵(123)能够从所述吹气管(122)底部吹气,所述吸气泵(124)能够从所述吸尘架(121)内的腔内吸气,所述吹气泵(123)和所述吸气泵(124)都固定连接有进出气管。

2.根据权利要求1所述的一种半导体除尘装置,其特征在于:所述凹槽(104)内固定连接有挡板(106)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体除尘装置,其特征在于:所述基座(103)左端面固定连接有第二电机(111),所述第二电机(111)与所述第二螺纹轴(113)动力连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体除尘装置,其特征在于:所述动力架(107)左端面固定连接有第一电机(110),所述第一电机(110)与所述第一螺纹轴(108)动力连接。

5.根据权利要求4所述的一种半导体除尘装置,其特征在于:所述支架(101)前端面固定连接有控制器(102)。