1.一种硅片烘干炉，包括烘干炉本体(1)和方管(2)，所述烘干炉本体(1)的内炉壁处固定有方管(2)，其特征在于：还包括侧导流机构(3)，所述侧导流机构(3)包括导入孔(4)、风入管(5)、安装环(6)、主风导管(7)、辅风导管(8)、底通管(9)、风机(11)、背靠板(12)、对斜板(13)、导风弯片(14)和L形支板(15)，所述方管(2)之间烘干炉本体(1)的侧炉壁处向外对称开设有用于插装风入管(5)的导入孔(4)，且风入管(5)伸出导入孔(4)的外管壁处焊接有安装环(6)，所述安装环(6)与导入孔(4)外侧的烘干炉本体(1)之间锁紧有螺栓，所述风入管(5)伸出导入孔(4)外端管体在主风导管(7)和辅风导管(8)表面排列互通焊接，所述主风导管(7)和辅风导管(8)的底管口通过焊接底通管(9)进行互通，且主风导管(7)和辅风导管(8)的顶端管口处通过螺栓锁紧有风机(11)，所述主风导管(7)和辅风导管(8)内插入有背靠板(12)，且背靠板(12)底端焊接有插入底通管(9)内的L形支板(15)，所述背靠板(12)的板体表面通过对斜板(13)朝向风入管(5)方向焊接有导风弯片(14)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片烘干炉，其特征在于：所述底通管(9)的管道内设置有U形管腔(10)，且U形管腔(10)的对称管口内卡入有L形支板(15)。

3.根据权利要求1所述的一种硅片烘干炉，其特征在于：所述导风弯片(14)自对斜板(13)处朝向风入管(5)方向倾斜，且对斜板(13)、导风弯片(14)和背靠板(12)之间预留有过风腔道。

4.根据权利要求1所述的一种硅片烘干炉，其特征在于：所述主风导管(7)和辅风导管(8)的竖管壁表面竖向排列焊接有风入管(5)的两组管体，且风入管(5)与主风导管(7)和辅风导管(8)的管腔互通。

5.根据权利要求1所述的一种硅片烘干炉，其特征在于：所述主风导管(7)和辅风导管(8)各自管体顶端风机(11)的出风口朝向各自管道内腔。