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专利号: 2018103972643
申请人: 浙江岐达科技股份有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种全自动硅片翻面烘干机,其特征在于:包括烘干箱(1)、旋转电机(2)、联动轴(3)、鼓风器(4)、烘干器(5)、硅片盘(6)、抽风器(7)、控制中枢(8),所述鼓风器(4)设置在烘干箱(1)顶部,所述鼓风器(4)包括鼓风机(9)、电动伸缩气管(10)、入风皮碗(11),所述鼓风机(9)设置在烘干箱(1)顶部,所述电动伸缩气管(10)穿过烘干箱(1)竖直向下设置在烘干箱(1)内,所述电动伸缩气管(10)底端安装有入风皮碗(11),所述鼓风器(4)下方设置有烘干器(5),所述烘干器(5)包括翻转盘(12)、加热器(13)、烘干腔(14)、风转盘(15)、皮碗密封感应环(16),所述翻转盘(12)左右两端均设置有加热器(13),所述烘干腔(14)设置在翻转盘(12)中部,所述烘干腔(14)的上方设置有风转盘(15),所述风转盘(15)的开口外侧设置有皮碗密封感应环(16),所述烘干腔(14)的下方对应设置有风转盘(15),所述风转盘(15)的开口外侧设置有皮碗密封感应环(16),所述硅片盘(6)安装在烘干腔(14)内,所述烘干器(5)的左右两端通过联动轴(3)与旋转电机(2)相连,所述旋转电机(2)设置在烘干箱(1)的左侧面,所述抽风器(7)包括抽风机(17)、电动伸缩气管(10)、抽风皮碗(18),所述抽风机(17)设置在烘干箱(1)底部,所述电动伸缩气管(10)穿过烘干箱(1)竖直向上设置在烘干箱(1)内,所述电动伸缩气管(10)顶端安装有抽风皮碗(18),所述控制中枢(8)设置在烘干箱(1)的右下方,所述烘干箱(1)的底部安装有支脚(19)。

2.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机,其特征在于:所述入风皮碗(11)的形状为竖直向下的倒漏斗形,所述入风皮碗(11)的最大开口直径大于风转盘(15)的直径,所述入风皮碗(11)正对风转盘(15)竖直方向上的开口,所述皮碗密封感应环(16)为带接触感应器的橡胶密封圆环。

3.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机,其特征在于:所述硅片盘(6)上均匀设置有多个硅片固定槽(20),所述硅片固定槽(20)为镂空透气槽,所述硅片盘(6)为导热盘,所述硅片盘(6)的左右两端与加热器(13)相连,所述硅片盘(6)的安装方式为可拆卸式,所述翻转盘(12)为隔热盘。

4.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机,其特征在于:所述抽风皮碗(18)的形状为竖直向上的漏斗形,所述抽风皮碗(18)的最大开口直径大于风转盘(15)的直径,所述抽风皮碗(18)正对风转盘(15)竖直方向上的开口。

5.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机,其特征在于:所述烘干腔(14)顶部和底部的风转盘(15)呈上下对应关系,所述风转盘(15)为主动转盘,所述风转盘(15)内均匀设置有多个旋转导风管(21),所述旋转电机(2)通过联动轴(3)带动烘干器(5)沿竖直方向旋转,所述烘干箱(1)为竖直设置的圆柱形隔热箱。

6.如权利要求1所述的一种全自动硅片翻面烘干机,其特征在于:所述控制中枢(8)与旋转电机(2)、加热器(13)、鼓风机(9)、电动伸缩气管(10)、风转盘(15)、皮碗密封感应环(16)、抽风机(17)一一相连。