利索能及
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专利号: 2023227564182
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-09-06
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种芯片晶圆隐裂检测装置,包括工作台(10),其特征在于,还包括:用于对芯片晶圆进行放置的放置组件,且放置组件设在工作台(10)上;

用于检测芯片晶圆上是否存在隐裂的检测组件;

用于对检测组件的位置进行调节的调节组件,且调节组件设在工作台(10)上;

所述放置组件包括:

支撑杆(21),所述工作台(10)的顶部两端均固定安装若干支撑杆(21);

两组放置板(22);

空心管(23),每组所述放置板(22)的底部均固定安装若干空心管(23),且支撑杆(21)的顶端插在空心管(23)中;

放置孔(24),所述放置板(22)上开设有若干放置孔(24);

玻璃板(25),所述玻璃板(25)固定安装在放置孔(24)的底端上;

光源(26),所述工作台(10)的顶部两端均固定安装若干光源(26),且光源(26)的正上方设有玻璃板(25);

所述调节组件包括:

转轴(31),所述转轴(31)通过轴承转动连接在工作台(10)的中部上;

伺服电机(32),所述伺服电机(32)固定安装在工作台(10)的底部上,且伺服电机(32)的输出轴固定安装转轴(31);

盒体(33),所述盒体(33)固定安装在转轴(31)的顶部上;

气缸(34),所述气缸(34)固定安装在盒体(33)的内壁上;

L形板(35),所述气缸(34)的输出端通过活塞杆固定安装L形板(35),且L形板(35)的一端安装检测组件。

2.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆隐裂检测装置,其特征在于,所述检测组件包括:壳体(41),所述壳体(41)的顶部固定安装L形板(35),且壳体(41)的内腔设有一组放置板(22);

第一无杆气缸(42),所述第一无杆气缸(42)固定安装在壳体(41)的顶端内壁上。

3.根据权利要求2所述的一种芯片晶圆隐裂检测装置,其特征在于,所述检测组件还包括:承载板(43),所述承载板(43)固定安装在第一无杆气缸(42)中的滑块底部上;

第二无杆气缸(44),所述第二无杆气缸(44)固定安装在承载板(43)的底部上;

CCD相机(45),所述CCD相机(45)固定安装在第二无杆气缸(44)中的滑块底部上。