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专利号: 2023218276449
申请人: 苏州中巨苏智能科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆检测设备,包括固定底座、支撑架、检测头和检测台,所述支撑架与所述固定底座固定连接,并位于所述固定底座的一侧,所述检测头设置在所述支撑架上,并位于所述支撑架的一侧,所述检测台设置在所述固定底座上,并位于所述固定底座靠近所述检测头的一侧,其特征在于,还包括除尘组件,

所述除尘组件包括连接座、喷头、支撑座、吸尘罩、喷气构件、吸气构件和转动构件,所述连接座与所述固定底座固定连接,并位于所述固定底座的一侧,所述喷头与所述连接座固定连接,并位于所述连接座靠近所述检测台的一侧,所述支撑座与所述固定底座固定连接,并位于所述固定底座的一侧,所述吸尘罩与所述支撑座固定连接,并位于所述支撑座靠近所述检测台的一侧,所述喷气构件设置在所述固定底座上,并与所述喷头连接,所述吸气构件设置在所述固定底座上,并与所述吸尘罩连接,所述转动构件设置在所述固定底座上,并与所述检测台连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测设备,其特征在于:

所述喷气构件包括喷气泵和喷气软管,所述喷气泵与所述固定底座固定连接,并位于所述固定底座的一侧;所述喷气软管与所述喷气泵连接,并与所述喷头连通,且位于所述喷气泵靠近所述喷头的一侧。

3.根据权利要求1所述的晶圆检测设备,其特征在于:

所述吸气构件包括吸气泵和吸气软管,所述吸气泵与所述固定底座固定连接,并位于所述固定底座的一侧;所述吸气软管与所述吸气泵连接,并与所述吸尘罩连通,且位于所述吸气泵靠近所述吸尘罩的一侧。

4.根据权利要求1所述的晶圆检测设备,其特征在于:

所述转动构件包括驱动电机和转动轴,所述驱动电机与所述固定底座固定连接,并位于所述固定底座的一侧;所述转动轴的一端与所述驱动电机的输出端连接,所述转动轴的另一端与所述检测台固定连接,所述转动轴位于所述驱动电机靠近所述检测台的一侧。

5.根据权利要求3所述的晶圆检测设备,其特征在于:

所述除尘组件还包括过滤构件,所述过滤构件包括排出壳和过滤网,所述排出壳与所述固定底座固定连接,并与所述吸气泵连接,且位于所述固定底座靠近所述吸气泵的一侧;

所述过滤网与所述排出壳固定连接,并位于所述排出壳的一侧。