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专利号: 2023227449926
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-10-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体基板的固定装置,包括底板(1),其特征在于,所述底板(1)顶部边角处安装有减震器(2),所述减震器(2)的另一端安装有工作板(3),所述底板(1)与工作板(3)之间设置有用于缓冲的支架(4),所述工作板(3)顶部设置有用于固定半导体基板的固定机构(5)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体基板的固定装置,其特征在于,所述工作板(3)侧边安装有导线(6),所述导线(6)的另一端安装有静电手环(7)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体基板的固定装置,其特征在于,所述支架(4)包括左支板(401)与右支板(402),所述左支板(401)与右支板(402)的中部转动有圆杆(403)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体基板的固定装置,其特征在于,所述左支板(401)与右支板(402)的端部均转动连接有滑块(404),所述底板(1)与工作板(3)上均开设有滑槽(405),所述滑块(404)滑动在所述滑槽(405)内且所述滑块(404)的另一端固定有弹簧(406),所述弹簧(406)的另一端固定在滑槽(405)内。

5.根据权利要求1所述的一种半导体基板的固定装置,其特征在于,所述固定机构(5)包括固定在工作板(3)上的一对固定块(501)与滑动在工作板(3)上的一对移动块(502),一对所述固定块(501)之间固定有固定杆(503),所述固定杆(503)贯穿有一对方块(504),一对所述移动块(502)之间转动有调节杆(505),所述调节杆(505)上设有方向相反的螺纹且螺纹贯穿有一对调节块(506),一对所述方块(504)上固定安装有相对的第一固定夹(507),一对所述调节块(506)上固定安装有第二固定夹(508),所述第一固定夹(507)滑动插设在第二固定夹(508)内。

6.根据权利要求5所述的一种半导体基板的固定装置,其特征在于,所述工作板(3)上对称开设有滑道(8),所述移动块(502)滑动在所述滑道(8)内。

7.根据权利要求6所述的一种半导体基板的固定装置,其特征在于,所述工作板(3)位于滑道(8)的正上方固定有调节板(9),两根所述调节板(9)上开设有多个调节孔(901),所述调节孔(901)内螺纹连接有调节螺栓(902)且端部抵触在移动块(502)顶部。

8.根据权利要求7所述的一种半导体基板的固定装置,其特征在于,所述调节杆(505)的另一端固定有转把(10),所述转把(10)外套设有防滑套(11)。