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专利号: 2023226011859
申请人: 汪朝海
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-02-06
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种半导体晶圆光学检测设备,其特征在于:包括检测模组(2)、第一移动板(7)和取样环(9),所述检测模组(2)下方设有移动模组(3),所述移动模组(3)一侧设有固定杆(16),所述固定杆(16)上方设有固定块(6),所述固定块(6)上设有所述第一移动板(7),所述第一移动板(7)靠近所述固定块(6)的一侧设有第二移动板(8),所述第一移动板(7)和所述第二移动板(8)一侧均固定连接有所述取样环(9),所述固定块(6)远离所述检测模组(2)的一侧设有放置模组(5)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆光学检测设备,其特征在于:所述取样环(9)顶部固定连接有吸盘(10),所述吸盘(10)设有若干个,且若干个所述吸盘(10)以所述取样环(9)为圆心环绕设置。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆光学检测设备,其特征在于:所述固定杆(16)内部活动嵌合有活动杆(14),所述固定块(6)底部与所述活动杆(14)顶部固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆光学检测设备,其特征在于:所述活动杆(14)两侧固定连接有嵌合块(15),所述固定杆(16)靠近所述嵌合块(15)的一侧设有嵌合槽(17),所述嵌合块(15)活动嵌合在所述嵌合槽(17)内。

5.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆光学检测设备,其特征在于:所述固定杆(16)上贯穿设有丝杆(19),所述丝杆(19)底部活动连接有旋转电机(18),所述丝杆(19)贯穿所述活动杆(14)并与所述活动杆(14)螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆光学检测设备,其特征在于:所述第一移动板(7)与所述第二移动板(8)呈对称交错设置,且所述第一移动板(7)与所述第二移动板(8)远离所述取样环(9)的一侧均活动连接有气动组件(13),所述气动组件(13)固定连接在所述固定块(6)远离所述取样环(9)的一侧。

7.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆光学检测设备,其特征在于:所述第一移动板(7)与所述第二移动板(8)内部均固定连接有气泵组件(11),两个所述气泵组件(11)分别与对应的所述取样环(9)上的所述吸盘(10)连通。

8.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆光学检测设备,其特征在于:所述固定块(6)两侧设有活动槽(12),所述活动槽(12)设有两个,且两个所述活动槽(12)分别与所述第一移动板(7)和所述第二移动板(8)相对应,第一移动板(7)与第二移动板(8)均活动嵌合在所述活动槽(12)内。

9.一种半导体晶圆光学检测系统,其特征在于:包括设备主体(1)、观察模组(4)和如权利要求1‑8任一项所述的半导体晶圆光学检测设备。