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专利号: 2023224370823
申请人: 苏州迈克希自动化科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体刻蚀夹具,包括夹具座(1),其特征在于:所述夹具座(1)内底壁设有主夹紧机构(2),所述夹具座(1)的上表面放置有第一刻蚀板(3),所述第一刻蚀板(3)的上表面放置有第二刻蚀板(4),所述夹具座(1)的上表面设有副夹紧机构(5),所述第一刻蚀板(3)的上表面开设有刻蚀槽(6),所述第二刻蚀板(4)的上表面开设有进液孔(7);

所述主夹紧机构(2)包括驱动组件和定位组件,所述驱动组件包括固定安装在夹具座(1)内底壁的驱动电机(201),所述驱动电机(201)输出轴的外侧固定有轴杆(202),所述轴杆(202)的外侧固定有主皮带轮(203),所述主皮带轮(203)的外侧通过皮带传动有副皮带轮(204),所述副皮带轮(204)的内部固定有螺纹杆a(205)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀夹具,其特征在于:所述刻蚀槽(6)的数量不少于两个,数量不少于两个的所述刻蚀槽(6)均匀分布在第一刻蚀板(3)的上表面。

3.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀夹具,其特征在于:所述进液孔(7)的数量不少于两个,数量不少于两个的所述进液孔(7)均匀分布在第二刻蚀板(4)的上表面。

4.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀夹具,其特征在于:所述定位组件包括螺纹连接在螺纹杆a(205)外侧的两个螺纹筒(206),所述螺纹筒(206)的上表面固定有活动板(207),两个所述活动板(207)相背的一侧均固定有U形杆(208)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体刻蚀夹具,其特征在于:所述活动板(207)远离螺纹筒(206)的一侧固定有滑块,所述夹具座(1)的内顶壁固定有导轨,所述滑块滑动连接在导轨的内部。

6.根据权利要求1所述的一种半导体刻蚀夹具,其特征在于:所述副夹紧机构(5)包括设置在夹具座(1)上表面的两个第一夹紧板(501),两个所述第一夹紧板(501)相对的一侧均固定有水平板(502),所述水平板(502)的上表面螺纹连接有另一端贯穿并延伸至其下方的螺纹杆b(503),所述螺纹杆b(503)的底端通过轴承转动连接有第二夹紧板(504)。

7.根据权利要求6所述的一种半导体刻蚀夹具,其特征在于:所述第二夹紧板(504)的上表面固定有另一端与水平板(502)下表面固定的伸缩杆,所述螺纹杆b(503)的上表面固定有把手。

8.根据权利要求4所述的一种半导体刻蚀夹具,其特征在于:左侧所述U形杆(208)远离左侧螺纹筒(206)的一端与左侧第一夹紧板(501)的左侧固定,右侧所述U形杆(208)远离右侧螺纹筒(206)的一端与右侧第一夹紧板(501)的右侧固定。