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专利号: 2023219849363
申请人: 陕西晶奕芯原科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆双面自动清洗装置,包括支架(1)和清洗槽(2),其特征在于:所述清洗槽(2)安装于支架(1)上,所述清洗槽(2)内可移动设置有移动板(3),所述支架(1)上安装有液压缸(4),所述液压缸(4)的输出端贯穿清洗槽(2)的底壁连接于移动板(3),所述移动板(3)上设置有夹固承托机构,所述移动板(3)上设置有双面清刷机构;所述双面清刷机构包括驱动电机(5)、双向丝杠(6)、上刷板(7)和下刷板(8),所述移动板(3)内部设置空腔,所述驱动电机(5)安装于移动板(3)的空腔内,所述双向丝杠(6)的一端连接于驱动电机(5)的输出端,所述双向丝杠(6)的另一端可转动设于移动板(3)的空腔内壁上,所述双向丝杠(6)上螺纹套设有丝杠副一(9)和丝杠副二(10),所述丝杠副一(9)和丝杠副二(10)的顶端移动贯穿移动板(3)且连接有支板(11),所述上刷板(7)和下刷板(8)设于支板(11)外壁上。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆双面自动清洗装置,其特征在于:所述夹固承托机构包括电动伸缩杆(12)和夹板(13),所述移动板(3)上设置有侧板(14)和隔板(15),所述侧板(14)位于移动板(3)的两侧边上,所述隔板(15)位于移动板(3)的中间位置处,所述电动伸缩杆(12)设于侧板(14)与隔板(15)上,所述夹板(13)设于电动伸缩杆(12)的输出端。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆双面自动清洗装置,其特征在于:所述上刷板(7)位于下刷板(8)的上方。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆双面自动清洗装置,其特征在于:所述隔板(15)的两侧壁上均设置电动伸缩杆(12)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆双面自动清洗装置,其特征在于:所述夹板(13)为圆弧形结构设置。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆双面自动清洗装置,其特征在于:所述驱动电机(5)为伺服电机。