1.一种晶圆检测仪器,包括晶圆厚度测量仪(1)、底座(101)、平台(102)、显示端(103)、检测器(104)和晶圆(2),所述晶圆厚度测量仪(1)由底座(101)、平台(102)、显示端(103)和检测器(104)组成,所述底座(101)的顶部与平台(102)的底部紧密接触,所述显示端(103)的底部与平台(102)的顶部固定连接,所述检测器(104)的后侧与显示端(103)前侧的底部固定连接,所述晶圆(2)的底部与平台(102)的顶部紧密接触,所述晶圆(2)的位于检测器(104)的底部,其特征在于:所述底座(101)的左右两侧均固定连接有连接板(3),所述平台(102)内部的左右两侧均固定连接有固定块(4),左侧所述固定块(4)的内部开设有空腔(5),所述空腔(5)的内部分别设置有卡紧组件(6)和移动组件(7)。
2.如权利要求1所述的一种晶圆检测仪器,其特征在于:所述卡紧组件(6)包括卡紧块(601)和滑块(602),所述卡紧块(601)和滑块(602)的表面均与空腔(5)的内部活动连接,所述卡紧块(601)的右侧与滑块(602)的左侧固定连接,所述滑块(602)前侧的左侧固定连接有拉簧(603),所述拉簧(603)的左侧与空腔(5)内壁的左侧固定连接,所述滑块(602)的内部活动连接有转杆(604)且紧密接触,所述转杆(604)底部的前侧转动连接有支撑块(605),所述支撑块(605)的前侧与空腔(5)内壁的前侧固定连接。
3.如权利要求2所述的一种晶圆检测仪器,其特征在于:所述移动组件(7)包括移动杆(701),所述移动杆(701)的表面与空腔(5)的内部活动连接,所述移动杆(701)的后侧固定连接有复位弹簧(702),所述复位弹簧(702)的后侧与空腔(5)内壁的后侧固定连接,所述移动杆(701)的前侧固定连接有配合块(703),所述配合块(703)的顶部活动连接有短杆(704),所述短杆(704)的左侧与转杆(604)的顶部活动连接。
4.如权利要求2所述的一种晶圆检测仪器,其特征在于:所述卡紧块(601)的内部滑动连接有控制块(8),所述控制块(8)的底部与空腔(5)内壁的底部固定连接。
5.如权利要求3所述的一种晶圆检测仪器,其特征在于:所述移动杆(701)的内部滑动连接有U形块(9),所述U形块(9)的右侧与空腔(5)内壁的右侧固定连接。
6.如权利要求2所述的一种晶圆检测仪器,其特征在于:所述卡紧块(601)的左侧通过空腔(5)依次贯穿固定块(4)和连接板(3)且延伸至连接板(3)的内部。
7.如权利要求1所述的一种晶圆检测仪器,其特征在于:所述平台(102)内部的四角均插接连接有凸块(10),四个凸块(10)的底部均与底座(101)的顶部固定连接。