1.一种晶圆吸附装置,包括定位框(1)和真空吸盘(4),其特征在于:所述定位框(1)侧壁的内壁等角度固定有定位杆(2),且定位杆(2)的外壁套设有滑套(3),并且滑套(3)的下表面固定设置有真空吸盘(4),而且定位框(1)下端内壁的中心处活动连接有调节杆(5),所述调节杆(5)的上端外壁固定安装有齿轮(6),且齿轮(6)下方的调节杆(5)外壁套设有套环(7),并且套环(7)的边侧外壁活动连接有支杆(8)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附装置,其特征在于:所述定位杆(2)和滑套(3)滑动连接,且滑套(3)通过弹簧和定位框(1)相连接,并且定位框(1)和真空吸盘(4)滑动设置。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附装置,其特征在于:所述调节杆(5)和定位框(1)旋转连接,且调节杆(5)和套环(7)螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附装置,其特征在于:所述支杆(8)的两端分别与套环(7)以及滑套(3)旋转设置。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附装置,其特征在于:所述定位框(1)的边侧外壁固定安装有限位把(9),且限位把(9)的端部上表面固定安装有支架(10),并且支架(10)的端部内壁活动连接有方杆(11),而且方杆(11)一端的端面固定安装有齿板(12),同时方杆(11)另一端边侧的支架(10)内壁设置有限位机构(13)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆吸附装置,其特征在于:所述支架(10)和方杆(11)组成滑动结构,且方杆(11)通过弹簧和支架(10)相连接,所述齿板(12)和齿轮(6)啮合设置。
7.根据权利要求5所述的一种晶圆吸附装置,其特征在于:所述限位机构(13)包括旋钮(1301)、限位环(1302)和限位杆(1303),且旋钮(1301)活动安装于支架(10)的内壁,并且旋钮(1301)的外壁套设有限位环(1302),而且限位环(1302)的边侧外壁活动安装有限位杆(1303)。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆吸附装置,其特征在于:所述旋钮(1301)和支架(10)转动连接,且旋钮(1301)和限位环(1302)螺纹设置,所述限位杆(1303)的两端分别与限位环(1302)以及方杆(11)转动设置。