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专利号: 2022220488376
申请人: 深圳特斯特半导体设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-27
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘,包括真空吸附盘本体,其特征在于,包括不锈钢方盘(1),所述不锈钢方盘(1)的正面设置有四个工作区(2),每个所述工作区(2)设置有多个吸气孔(3),且所述吸气孔(3)的四周设置有避让槽(4),所述避让槽(4)的一侧通过排气槽(5)与所述不锈钢方盘(1)的侧壁连接;所述不锈钢方盘(1)内设置有连接吸气孔(3)的横向气体通道(6),所述横向气体通道(6)与所述不锈钢方盘(1)内设置的纵向气体通道(7)连接;所述不锈钢方盘(1)的底部设置有中心定位槽(8)和装配定位槽(9),所述装配定位槽(9)位于所述中心定位槽(8)的一侧,所述中心定位槽(8)的中间设置有与纵向气体通道(7)连接的真空抽气孔(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘,其特征在于,每个所述工作区(2)设置有四个吸气孔(3),四个所述吸气孔(3)呈矩阵排列。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘,其特征在于,四个所述工作区(2)排列在所述不锈钢方盘(1)中心的上下两侧。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘,其特征在于,所述横向气体通道(6)和所述纵向气体通道(7)的两侧设置有堵头(11)。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘,其特征在于,所述中心定位槽(8)的四周设置有内环吸附定位槽(801)和外环吸附定位槽(802),所述外环吸附定位槽(802)和所述内环吸附定位槽(801)之间设置有连接槽(803)。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘,其特征在于,所述吸气孔(3)的孔径设置在横向气体通道(6)孔径的一半,所述横向气体通道(6)和纵向气体通道(7)的孔径一致,所述真空抽气孔(10)的孔径设置在横向气体通道(6)孔径的1.5倍。

7.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘,其特征在于,所述避让槽(4)和排气槽(5)的截面设置在2‑4mm,且所述避让槽(4)的深度设置在排气槽(5)深度的2倍以上。

8.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶圆划片机的真空吸附盘,其特征在于,所述不锈钢方盘(1)的正面设置有与所述横向气体通道(6)连接的密封螺塞(12),所述密封螺塞(12)位于所述纵向气体通道(7)的两侧。