1.一种晶圆吸附主轴气密封测试机,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的顶部设置有升降机构(2),所述升降机构(2)的内部设置有检测组件(3),所述底座(1)的顶部开设有数量为多个的放置槽(4),所述底座(1)的内部设置有动力机构(5),所述底座(1)的内部设置有延伸至多个所述放置槽(4)的内部并与动力机构(5)相连接的顶升组件(6)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附主轴气密封测试机,其特征在于,所述升降机构(2)包括固定连接于底座(1)顶部的安装架(21),所述升降机构(2)还包括固定连接于底座(1)顶部的平面轴承(22),所述安装架(21)的顶部固定连接有输出端延伸至安装架(21)内部的第一转动电机(23),所述第一转动电机(23)的输出端固定连接有一端延伸至与平面轴承(22)顶部固定连接的螺纹杆(24),所述安装架(21)的内部固定连接有滑杆(25)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆吸附主轴气密封测试机,其特征在于,所述检测组件(3)包括螺纹连接于螺纹杆(24)外侧且活动连接于滑杆(25)外侧的升降块(31),所述升降块(31)的底部固定连接有气密封检测器(32),所述气密封检测器(32)的底部固定连接有数量为多个的密封圈(33)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆吸附主轴气密封测试机,其特征在于,所述动力机构(5)包括固定连接于底座(1)内部的第二转动电机(51),所述第二转动电机(51)的输出端固定连接有活动连接于底座(1)内部的双向螺杆(52),所述双向螺杆(52)的外侧螺纹连接有数量为两个的移动块(53)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆吸附主轴气密封测试机,其特征在于,所述顶升组件(6)包括活动连接于底座(1)内部且延伸至多个放置槽(4)内部的顶升架(61),所述顶升架(61)的顶部固定连接有数量与放置槽(4)相等且位于对应放置槽(4)内部的顶升块(62),所述顶升架(61)的外侧固定连接有数量为两个铰接座(63),所述移动块(53)的顶部固定连接有铰接座(63),同侧两个所述铰接座(63)之间通过连接杆(64)活动连接。
6.根据权利要求3所述的一种晶圆吸附主轴气密封测试机,其特征在于,所述安装架(21)的内部固定连接有数量为两个的限位杆(7),所述限位杆(7)的外侧套设有一端延伸至与升降块(31)固定连接的限位块(8)。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆吸附主轴气密封测试机,其特征在于,所述升降块(31)的内部嵌入有数量为多个且与滑杆(25)相接触的滚珠(9),所述底座(1)的顶部固定连接有用于对安装架(21)进行支撑的支撑架(10)。