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专利号: 2023208819010
申请人: 浙江中微自控设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高稳定性的单晶硅传感器,包括底座体(1)、底座体(1)的上端面中央位置开设有装配腔(2)、底座体(1)的上端面卡接有密封盖(6),其特征在于:密封机构、设置在底座体(1)的上端,用于对底座体(1)与密封盖(6)之间进行密封;

连接卡件(7)、横截面为L字形结构均匀固定在密封盖(6)的下端面;

连接机构、均匀设置在底座体(1)的上端面外侧,用于对连接卡件(7)锁紧限位;

锁紧孔一(11)、均匀开设在底座体(1)的上端面,且位于连接机构一侧,所述密封盖(6)的内部外侧开设有锁紧孔二(12),且锁紧孔二(12)与锁紧孔一(11)直径相同;

锁紧机构、设置在锁紧孔二(12)的内部并向锁紧孔一(11)内部锁延伸,用于对密封盖(6)与底座体(1)之间固定锁紧。

2.根据权利要求1所述的一种高稳定性的单晶硅传感器,其特征在于,所述密封机构包括定位卡槽(3)、密封垫(4)和连接凸起(5),所述定位卡槽(3)呈圆环状开设在底座体(1)的上端面内侧,所述密封垫(4)卡接在定位卡槽(3)内部,并与底座体(1)紧密贴合,所述连接凸起(5)呈对称固定在密封垫(4)上下两端面,且连接凸起(5)的外侧分别与定位卡槽(3)和密封盖(6)相卡接。

3.根据权利要求1所述的一种高稳定性的单晶硅传感器,其特征在于,所述连接机构包括连接卡槽(8)、连接滑槽(9)和锁紧卡槽(10),所述连接卡槽(8)开设在底座体(1)的上端面,且连接卡槽(8)与连接卡件(7)相卡接,所述连接滑槽(9)开设在连接卡槽(8)的一侧,且连接卡件(7)可沿着连接滑槽(9)内部顺时针转动,所述锁紧卡槽(10)开设在连接滑槽(9)远离连接卡槽(8)的一端,且锁紧卡槽(10)与连接卡件(7)相卡接。

4.根据权利要求1所述的一种高稳定性的单晶硅传感器,其特征在于,所述锁紧机构包括锁紧板(13)、塑料卡件(14)和密封套环(15),所述锁紧板(13)滑动卡接在锁紧孔二(12)的内部,所述塑料卡件(14)横截面呈扇形结构套结在锁紧板(13)的外表面,所述密封套环(15)套结在塑料卡件(14)的外表面,所述锁紧板(13)的上端设置有连接定位机构。

5.根据权利要求4所述的一种高稳定性的单晶硅传感器,其特征在于,所述连接定位机构包括调节丝杆(16)、连接套筒(17)和锁紧件(18),所述调节丝杆(16)固定在锁紧板(13)的上端面,所述连接套筒(17)螺纹连接在调节丝杆(16)的外表面,所述锁紧件(18)固定在连接套筒(17)的上端,且锁紧件(18)的横截面为倒梯形结构。