1.一种用于电化学沉积工艺的自动夹持装置,其特征在于,该装置包括支架、移动升降支架腿、夹具机构Ⅰ、夹具机构Ⅱ,具体结构如下:方框型支架设置于移动升降支架腿上,支架上部左右两侧分别设置有竖直的移动槽Ⅱ,每个移动槽Ⅱ自上而下均匀排布水平凹槽,两个移动槽Ⅱ的水平凹槽一一对应,移动槽Ⅱ内相对应的水平凹槽之间安装有横梁Ⅱ,横梁Ⅱ与移动槽Ⅱ呈滑动连接;支架内部左右两侧分别设置与移动槽Ⅱ垂直的水平移动槽Ⅰ,每个移动槽Ⅰ沿水平方向均匀排布凹槽,两个移动槽Ⅰ的凹槽一一对应,移动槽Ⅰ内相对应的凹槽之间安装有横梁Ⅰ,横梁Ⅰ与移动槽Ⅰ呈滑动连接;竖直的夹具机构Ⅱ上端与横梁Ⅱ滑动连接,水平的夹具机构Ⅰ一端与横梁Ⅰ滑动连接。
2.按照权利要求1所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置,其特征在于,横梁Ⅰ和横梁Ⅱ均可拆卸,且在外壁设置刻度线。
3.按照权利要求1所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置,其特征在于,方框型支架下部固定安装移动升降支架腿,移动升降支架腿包括:伸缩腿、支架腿、丝杆螺母、电机支架Ⅰ、丝杆电机、电机、电机支架Ⅱ、轮子,具体结构如下:伸缩腿插装于方管型支架腿上部,且伸缩腿与支架腿呈滑动配合;支架腿内自下而上安装电机、丝杆电机,电机通过电机支架Ⅱ固定在支架腿内部,电机上部安装有丝杆电机,丝杆电机通过电机支架Ⅰ固定在支架腿内部;丝杆电机上的竖直丝杆伸至伸缩腿的圆筒槽内,所述丝杆上安装丝杆螺母于伸缩腿的底部,丝杆螺母与丝杆电机上的丝杆通过螺纹配合连接,丝杆螺母上部与伸缩腿固定连接;电机的水平输出轴上安装轮子,通过电机驱动轮子移动。
4.按照权利要求3所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置,其特征在于,伸缩腿内部圆筒槽宽于丝杆。
5.按照权利要求1所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置,其特征在于,横梁Ⅰ分别与两个相对设置的夹具机构Ⅰ滑动连接,每个夹具机构Ⅰ包括蝴蝶螺栓Ⅰ、夹具固定环Ⅰ、夹具槽、固定槽、夹具伸缩杆、固定销、复位弹簧、夹具固定杆Ⅰ、半球头结构、移动槽,具体结构如下:夹具固定环Ⅰ与夹具固定杆Ⅰ为一体连接结构,夹具固定环Ⅰ套设于横梁Ⅰ且与横梁Ⅰ呈滑动配合,夹具固定环Ⅰ上部有蝴蝶螺栓Ⅰ,通过蝴蝶螺栓Ⅰ与横梁Ⅰ紧密接触连接固定夹具位置;夹具固定杆Ⅰ内腔设置夹具槽、固定槽、移动槽,两个夹具机构Ⅰ的夹具固定杆Ⅰ下部相对一侧分别固定连接夹具体;夹具固定杆Ⅰ内腔套接夹具伸缩杆,夹具固定杆Ⅰ内腔壁均匀开设两组以上的夹具槽、固定槽和一条移动槽,每组夹具槽、固定槽中,夹具槽为环形槽,固定槽为圆周阵列的八个孔,移动槽为半圆柱状槽;夹具伸缩杆顶端侧面的半球头结构与夹具槽匹配连接,夹具伸缩杆在夹具槽内旋转调整位置,夹具伸缩杆通过其上的半球头结构沿移动槽内拉伸调整位置,夹具伸缩杆侧面设有垂直于夹具固定杆Ⅰ内壁且与固定槽相对的定位孔,所述定位孔内部有复位弹簧、固定销,复位弹簧与固定销连接,固定销露出所述定位孔的顶端是斜面,保证夹具伸缩杆只能沿单方向转动,固定销与固定槽匹配连接,实现对夹具伸缩杆固定,夹具伸缩杆底部有螺纹孔,夹具伸缩杆底部通过螺纹孔连接夹具体。
6.按照权利要求5所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置,其特征在于,夹具固定杆Ⅰ与夹具伸缩杆是绝缘防腐材料包裹的铜棒,且杆外侧分别有角度刻度和长度刻度。
7.按照权利要求5所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置,其特征在于,横梁Ⅱ与夹具机构Ⅱ滑动连接,夹具机构Ⅱ包括蝴蝶螺栓Ⅱ、夹具固定杆Ⅱ、软连接部位、夹具固定杆Ⅲ、抱箍、夹具固定环Ⅱ,具体结构如下:夹具固定环Ⅱ与夹具固定杆Ⅱ为一体连接结构,夹具固定环Ⅱ套设于横梁Ⅱ且与横梁Ⅱ呈滑动配合,夹具固定环Ⅱ上部有蝴蝶螺栓Ⅱ,通过蝴蝶螺栓Ⅱ与横梁Ⅱ紧密接触连接固定夹具位置;夹具固定杆Ⅱ与夹具固定杆Ⅲ的相对应一端之间通过软连接部位连接并通过抱箍固定,软连接部位为紫铜带,抱箍分别将软连接部位与夹具固定杆Ⅱ、软连接部位与夹具固定杆Ⅲ压紧,夹具固定杆Ⅲ下部与夹具体固定连接。
8.按照权利要求7所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置,其特征在于,夹具体包括方框型夹具支架Ⅰ、连接杆Ⅰ、夹具Ⅰ、挂钩,夹具支架Ⅰ的顶部中间与竖直的夹具固定杆Ⅲ连接,夹具支架Ⅰ上下两侧设有与连接杆Ⅰ相对应的螺纹孔,夹具支架Ⅰ与连接杆Ⅰ通过螺纹连接,连接杆Ⅰ固定连接夹具Ⅰ,夹具Ⅰ下方有挂钩,挂钩内侧有齿。
9.按照权利要求7所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置,其特征在于,夹具体包括方框型夹具支架Ⅱ、连接杆Ⅱ、夹具Ⅱ,水平设置的夹具支架Ⅱ的一侧与通过软连接部位调节水平的夹具固定杆Ⅲ连接,夹具支架Ⅱ左右两侧设有与连接杆Ⅱ相对应的螺纹孔,夹具支架Ⅱ与连接杆Ⅱ通过螺纹连接,连接杆Ⅱ固定连接夹具Ⅱ,夹具Ⅱ内侧有齿。