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专利号: 2023117546252
申请人: 浙江工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-29
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种将石墨转变为金刚石的方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:S1:热丝化学气相沉积设备中,钽丝工装,在所述热丝化学气相沉积设备的腔体内放入单晶鳞片石墨片进行钽沉积,得到钽丝处理后的石墨片;

所述钽沉积的操作是:在腔体气压2.0 3.0 kPa、热丝功率300 800 W、氢气的流量50~ ~ ~

300 sccm的条件下处理5 30 min,然后在氢气气氛中以0.2 2 V/min的速率降低功率至0;

~ ~

S2:将步骤S1所述的钽丝处理后的石墨片封于真空石英管中于700 1100 ℃的马弗炉~中退火15 120 min,在石墨片上得到金刚石。

~

2.如权利要求1所述的将石墨转变为金刚石的方法,其特征在于:所述单晶鳞片石墨片是将单晶鳞片石墨微粉压片制成。

3.如权利要求2所述的将石墨转变为金刚石的方法,其特征在于:所述压片的压力为30 MPa,时间为2 min。

4.如权利要求1所述的将石墨转变为金刚石的方法,其特征在于:所述腔体气压为3.0 kPa。

5.如权利要求1所述的将石墨转变为金刚石的方法,其特征在于:所述热丝功率为400 W。

6.如权利要求1所述的将石墨转变为金刚石的方法,其特征在于:所述氢气的流量为

200 sccm。

7.如权利要求1所述的将石墨转变为金刚石的方法,其特征在于:所述处理的时间为15 min。

8.如权利要求1所述的将石墨转变为金刚石的方法,其特征在于:步骤S1所述的热丝化学气相沉积设备购自上海交友钻石涂层公司,型号为JUHFCVD001。

9.如权利要求1所述的将石墨转变为金刚石的方法,其特征在于:步骤S2所述退火的温度为900 ℃,时间为30 min。

10.如权利要求1所述的将石墨转变为金刚石的方法,其特征在于所述方法为:S1:热丝化学气相沉积设备中,钽丝工装,在所述热丝化学气相沉积设备的腔体内放入单晶鳞片石墨片进行钽沉积,得到钽丝处理后的石墨片;

所述钽沉积的操作是:在腔体气压3.0 kPa、热丝功率400 W、氢气的流量200 sccm的条件下处理15 min,然后在氢气气氛中以0.5 V/min的速率降低功率至0;

S2:将步骤S1所述的钽丝处理后的石墨片封于真空石英管中于900 ℃的马弗炉中退火

30 min,在石墨片上得到金刚石。