1.一种超薄壁微表面结构的柔性超声辊压成形装置，其特征在于，所述装置包括：主动特征辊齿、从动光面辊齿、柔性垫、主动超声振动系统、伺服动力系统、辊齿间压力调节系统和装置基体；

所述主动特征辊齿，由两端直径为10 30mm、长度为10 50mm的固定轴和直径为50~ ~ ~

300mm、宽度为10 50mm的中间特征齿轮两部分组成，特征齿轮表面有长度为1 15mm、宽度为~ ~

1 15mm、深度为1 10mm或高度为1 10mm的微结构，固定轴和特征齿轮连接处的圆角半径为~ ~ ~

10 30mm；

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所述从动光面辊齿由两端直径为10 50mm、长度为10 100mm的固定轴和直径为50~ ~ ~

300mm、宽度为10 500mm中间光面辊轮两部分组成，固定轴和光面辊轮连接处的圆角半径为~

10 50mm；

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所述柔性垫为硬度为10 90HA，厚度为5 20mm，宽度为10 500mm，长度为100 500mm的聚~ ~ ~ ~氨酯橡胶垫；

所述主动超声振动系统由超声波发生器，换能器和变幅杆组成，超声波发生器通过碳刷环向换能器传输电能，变幅杆末端与主动特征辊齿固定轴端面耦合，主动特征辊齿的超声振动方向沿辊齿径向；

所述伺服动力系统包括伺服电动机和控制器，伺服电动机通过橡胶同步带驱动主动特征辊齿转动，伺服动力系统与装置基体相连；

所述辊齿间压力调节系统包括空气压缩机、气缸、从动辊齿固定框和精密滑轨，气缸与从动辊齿固定框相连，从动辊齿固定框与装置基体通过精密滑轨相连；

所述的超薄壁微表面结构的柔性超声辊压成形装置的使用方法，其特征在于，包含以下步骤：步骤一：将宽度为10 50mm，长度为50 300mm，厚度为30 300μm的箔材进行20% 50%的冷~ ~ ~ ~轧，随后在200 400℃温度下保温1 5h进行去应力退火热处理，选取柔性垫；

~ ~

步骤二：开启辊齿间压力调节系统，设置辊齿间压力值为50 3000N；

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步骤三：开启主动超声振动系统，设置超声振动的频率为10 30kHz，振幅为1 30μm；

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步骤四：开启伺服动力系统，设置主动特征辊齿线速度为1 30mm/s；

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步骤五：箔材上、下表面涂敷润滑剂后与柔性垫贴合到一起，从下到上按箔材、柔性垫的顺序放到导料口，辊弯成形。

2.根据权利要求1中所述的一种超薄壁微表面结构的柔性超声辊压成形装置，其特征在于：所述的柔性垫选取方法为：当箔材屈服强度为100 300MPa、厚度为30 150μm时，柔性~ ~垫为厚度5 10mm、硬度为10 30HA的聚氨酯橡胶垫；当箔材屈服强度为300 500MPa、厚度为~ ~ ~

150 250μm时，柔性垫为厚度10 15mm、硬度为30 50HA的聚氨酯橡胶垫；当箔材屈服强度为~ ~ ~

500 800MPa、厚度为250 300μm时，柔性垫为厚度15 20mm、硬度为50 90HA的聚氨酯橡胶垫。

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3.根据权利要求1中所述的一种超薄壁微表面结构的柔性超声辊压成形装置，其特征在于：所述的主动特征齿轮表面的微结构为单个间断式。

4.根据权利要求1中所述的一种超薄壁微表面结构的柔性超声辊压成形装置，其特征在于：所述的主动特征齿轮表面的微结构为多个连续式。

5.根据权利要求1中所述的一种超薄壁微表面结构的柔性超声辊压成形装置，其特征在于：所述的润滑剂为植物油、动物油或MoS2。