1.一种超薄壁波纹微结构的双向超声振动辅助辊弯成形装置，其特征在于，所述装置包括：辊齿模块，双向超声振动模块，伺服动力模块，偏心微调模块，辊齿间压力调节模块和基体模块；

所述辊齿模块包括主动辊齿和从动辊齿，主动辊齿由两端直径为10 30mm、长度为10~ ~

50mm的固定轴和直径为60 200mm、宽度为5 30mm的中间辊齿轮两部分组成，辊齿边长为1~ ~ ~

5mm、辊齿夹角为110 120°、辊齿齿数为20 40个，固定轴和辊齿轮连接处的圆角半径为10~ ~ ~

30mm；从动辊齿由两端直径为20 40mm、长度为20 60mm的固定轴和中间辊齿轮两部分组成，~ ~从动辊齿的辊齿轮与主动辊齿的辊齿轮形状相同，固定轴和辊齿轮连接处的圆角半径为20

50mm；

~

所述双向超声振动模块包括主动径向超声振动系统和从动轴向超声振动系统，主动径向超声振动系统由超声波发生器，换能器和变幅杆组成，超声波发生器通过碳刷环向换能器传输电能，变幅杆末端与主动辊齿固定轴端面耦合，主动辊齿的超声振动方向沿辊齿径向；从动轴向超声振动系统由超声波发生器，换能器和变幅杆组成，超声波发生器通过碳刷环向换能器传输电能，变幅杆末端与从动辊齿固定轴端面耦合，从动辊齿的超声振动方向沿辊齿轴向；

所述伺服动力模块包括伺服电动机和控制器，伺服电动机通过橡胶同步带驱动主动辊齿转动，伺服动力模块与基体模块相连；

所述偏心微调模块包括半径为100 300mm的弧形调节块、从动辊齿固定框和精密滑轨~组成，弧形调节块与从动辊齿固定框相连，从动辊齿固定框通过精密滑轨与基体模块相连；

所述辊齿间压力调节模块包括空气压缩机和气缸，气缸与从动辊齿固定框相连。

2.根据权利要求1中所述的一种超薄壁波纹微结构的双向超声振动辅助辊弯成形装置的成形方法，其特征在于，包含以下步骤：步骤一：将宽度为5 30mm，长度为50 300mm，厚度为50 200μm的箔材进行10% 30%的冷~ ~ ~ ~轧，随后在300 800℃温度下保温1 3h进行再结晶退火处理，使箔材厚度方向的晶粒数量为~ ~

8 15个；

~

步骤二：开启偏心微调模块，设置主、从动辊齿轴的平行度为10 100μm；

~

步骤三：开启辊齿间压力调节模块，设置辊齿间压力值为100 1000N；

~

步骤四：开启超声振动系统，设置主动径向超声振动系统的振动频率为10 30kHz，振幅~为5 15μm，从动轴向超声振动系统的振动频率为20 30kHz，振幅为15 30μm；

~ ~ ~

步骤五：开启伺服动力模块，设置主动辊齿线速度为1 30mm/s；

~

步骤六：将箔材放入导料口，辊弯成形。

3.根据权利要求2中所述的一种成形方法，其特征在于：所述的偏心微调模块与激光平行度测量仪组合使用。