1.一种光刻机物镜结构，包括物镜主体（1）、水冷装置（2）和散热装置（3），其特征在于：

所述物镜主体（1）外侧与水冷装置（2）固定连接，所述水冷装置（2）远离物镜主体（1）的一侧与散热装置（3）固定连接，所述物镜主体（1）包括外壳（11）、镜片主体（12）和定位装置（14），所述外壳（11）的个数共有四个，且四个所述外壳（11）在镜片主体（12）外侧呈均匀分布，所述镜片主体（12）外侧设置在外壳（11）一侧，所述外壳（11）两两相互贴合，所述外壳（11）两端均设有固定盖（13），所述固定盖（13）内设有定位装置（14），所述定位装置（14）包括夹持块（141）和定位主体（147），所述夹持块（141）四个为一组在固定盖（13）内呈均匀分布，所述夹持块（141）内固定连接有限位杆（149），所述限位杆（149）一端外侧设有第一弹簧（1410），所述限位杆（149）另一端外侧设有限位板（148），所述限位板（148）一端设置在外壳（11）内，所述限位板（148）另一端设置在夹持块（141）内，所述夹持块（141）远离外壳（11）的一侧设有推板（142），所述推板（142）另一侧转动连接有螺栓（146），所述螺栓（146）外侧螺旋连接有定位环（145），所述定位环（145）一侧固定连接有连接板（144），所述连接板（144）一侧与外壳（11）紧密贴合，所述连接板（144）两侧均固定连接有定位主体（147），所述定位主体（147）外侧与夹持块（141）紧密贴合，所述推板（142）内两侧均设有螺丝（143），所述螺丝（143）另一端与推板（142）螺旋连接；

所述定位主体（147）包括定位杆（1471），所述定位杆（1471）外侧固定连接有定位圈（1472），所述定位杆（1471）外侧固定连接有橡胶套（1473），所述橡胶套（1473）内侧与定位圈（1472）紧密贴合，所述橡胶套（1473）外侧与固定盖（13）紧密贴合；

所述外壳（11）两个为一组与夹持块（141）紧密贴合，所述限位板（148）设置在外壳（11）的一端呈倾斜设置，所述螺栓（146）贯穿连接板（144），所述定位主体（147）两个为一组设置在螺栓（146）两侧，所述螺丝（143）两个为一组设置在螺栓（146）两侧。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机物镜结构，其特征在于：所述水冷装置（2）包括防护壳（21）和吸热主体（26），所述防护壳（21）内固定连接有导热管（22），所述导热管（22）的个数共有两个，且导热管（22）呈U形设置，所述导热管（22）一端与吸热主体（26）固定连接，所述导热管（22）另一端固定连接有循环泵（24），所述一侧所述导热管（22）外侧固定连接有呈均匀分布的散热鳍片（23），且一侧所述导热管（22）外侧与防护壳（21）固定连接，所述防护壳（21）外侧开设有呈均匀分布的散热孔，所述吸热主体（26）一侧固定连接有连接管（25），所述连接管（25）设置在外壳（11）内，所述吸热主体（26）包括水壳（261）和安装主体（265），所述水壳（261）外侧设有导热板（262），所述导热板（262）内设置有密封圈（263），所述密封圈（263）一侧与水壳（261）紧密贴合，所述导热板（262）呈圆弧形设置，所述导热板（262）内固定连接有呈均匀分布的导热杆（264），所述导热杆（264）一端设置在水壳（261）内，所述安装主体（265）两个为一组设施在水壳（261）两侧，所述安装主体（265）另一端与导热板（262）转动连接。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机物镜结构，其特征在于：所述安装主体（265）包括安装块（2651）和安装板（2656），所述安装块（2651）一侧设置在水壳（261）上，所述安装块（2651）内固定连接有滑杆（2652），所述滑杆（2652）两端均与安装块（2651）固定连接，所述滑杆（2652）一端外侧设有第二弹簧（2654），所述滑杆（2652）另一端外侧设有滑块（2653），所述滑块（2653）一侧固定连接有圆杆（2655），所述圆杆（2655）设置在安装块（2651）内，所述安装板（2656）设置在安装块（2651）内，所述安装板（2656）一侧内开设有卡槽（2657），所述安装板（2656）所开设卡槽（2657）呈C形设置，所述圆杆（2655）设置在安装板（2656）所开设卡槽（2657）内，所述安装板（2656）另一侧内转动连接有转轴（2658），所述转轴（2658）另一端与导热板（262）固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机物镜结构，其特征在于：所述散热装置（3）包括固定壳（31）、固定主体（34）和支撑主体（35），所述固定壳（31）内固定连接有散热主体（32），所述散热主体（32）设置在水冷装置（2）一侧，所述固定壳（31）两侧均设有连接壳（33），所述固定主体（34）设置在连接壳（33）内，所述固定主体（34）远离固定壳（31）的一侧与支撑主体（35）固定连接，所述固定主体（34）包括固定板（341），所述固定板（341）一侧固定连接有固定柱（343），所述固定柱（343）贯穿连接壳（33），所述固定柱（343）外侧设有第三弹簧（344），所述固定板（341）另一侧固定连接有固定块（342），所述固定块（342）另一端设置在固定壳（31）内，所述固定块（342）贯穿连接壳（33），所述固定板（341）两侧均转动连接有转板（345），所述转板（345）另一端转动连接有滑板（346），所述滑板（346）与连接壳（33）滑动连接，所述支撑主体（35）包括顶板（351），所述顶板（351）与固定柱（343）固定连接，所述顶板（351）两侧内均转动连接有连接轴（356），所述连接轴（356）另一端与限位块（353）固定连接，所述限位块（353）纵向截面呈正方形设置，所述限位块（353）外侧设有支撑板（352），所述支撑板（352）设置在顶板（351）两侧内。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机物镜结构，其特征在于：所述支撑板（352）内两侧均开设有滑槽（357），所述连接轴（356）设置在支撑板（352）所设滑槽（357）内，所述支撑板（352）内固定连接有呈对称设置的支撑杆（354），所述支撑杆（354）贯穿限位块（353），所述支撑杆（354）一端外侧设有第四弹簧（355）。