1.一种光刻机投影物镜镜头的装调装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的上端一侧开设有圆形槽(26),所述圆形槽(26)内底部转动连接有固定轴(27),所述底座(1)的上端设置有矩形板(2),所述矩形板(2)同轴固定连接在固定轴(27)上端,所述矩形板(2)侧壁内开设有装置腔(3),所述装置腔(3)内底部与内顶部之间对称转动连接有一对螺纹杆(4),一对所述螺纹杆(4)上均螺纹连接有丝杠螺母(5),所述矩形板(2)的侧壁一端安装有用于驱动其中一根螺纹杆(4)转动的第一驱动机构,改根所述螺纹杆(4)的下端部安装有用于带动另一根螺纹杆(4)转动的传动机构,每个所述丝杠螺母(5)侧壁上均固定连接有一对连杆(10),所述矩形板(2)侧壁上沿竖直方向对称开设有一对与装置腔(3)连通的滑槽(9),所述连杆(10)滑动连接在其所对应的滑槽(9)内,且多根所述连杆(10)均通过滑槽(9)贯穿至矩形板(2)外部,多根所述连杆(10)的端部共同固定连接有安装板(11),所述安装板(11)的上端中间位置处开设有安装通孔(12),所述安装通孔(12)内设置有物镜镜头(13),所述安装板(11)侧壁内沿安装通孔(12)对称开设有一对滑腔(18),所述滑腔(18)内安装有用于固定物镜镜头(13)的固定机构,所述底座(1)侧壁内开设有空腔(30),所述空腔(30)内固定安装有电机(31),所述电机(31)输出轴上安装有用于驱动固定轴(27)转动的第二驱动机构;
所述第一驱动机构包括转轮(6),所述转轮(6)通过转轴(17)转动连接在矩形板(2)的侧壁上,所述转轴(17)贯穿至装置腔(3)内,且所述转轴(17)贯穿至装置腔(3)内的一端同轴固定连接有第二锥齿轮(16),所述螺纹杆(4)的下端部同轴固定连接有第一锥齿轮(14),所述第一锥齿轮(14)与第二锥齿轮(16)啮合,所述转轮(6)侧壁上安装有用于控制转轮(6)转动的第一控制机构;
所述第一控制机构包括摇杆(7)和握把(8),所述摇杆(7)的上端固定连接在转轮(6)的侧壁非轴心处上,所述握把(8)固定连接在摇杆(7)的下端;
所述传动机构包括第一皮带轮(15)和第二皮带轮(25),所述第一皮带轮(15)同轴固定连接在靠近驱动机构的螺纹杆(4)的下端部,所述第二皮带轮(25)同轴固定连接在远离驱动机构的螺纹杆(4)的下端部,且所述第一皮带轮(15)与第二皮带轮(25)通过皮带传动连接;
所述固定机构包括固定销(19),所述固定销(19)滑动连接在滑腔(18)内壁间,且所述固定销(19)的一端通弹簧(20)弹性连接在滑腔(18)的内侧壁上,所述物镜镜头(13)的侧壁上对称开设有一对销孔(24),所述固定销(19)的另一端贯穿至安装通孔(12)内且插设在销孔(24)内,所述安装板(11)的上端安装有用于控制固定销(19)是否伸出滑腔(18)的第二控制机构;
所述第二控制机构包括推动块(23)和竖杆(22),所述安装板(11)的上端两侧对称开设有一对与对应处的滑腔(18)连通的条形槽(21),所述竖杆(22)滑动连接在条形槽(21)内壁间,且所述竖杆(22)的下端固定连接在固定销(19)的上端,所述推动块(23)的固定连接在竖杆(22)的上端;
所述第二驱动机构包括第三锥齿轮(28)和第四锥齿轮(29),所述电机(31)的输出轴贯穿至圆形槽(26)内,所述第三锥齿轮(28)同轴固定连接在固定轴(27)上,所述第四锥齿轮(29)同轴固定连接在电机(31)输出轴上,且所述第三锥齿轮(28)与第四锥齿轮(29)啮合。
2.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置,其特征在于,所述握把(8)的外部套设有防滑胶套,且所述防滑胶套的外壁上设置有防滑纹。
3.根据权利要求1所述的一种光刻机投影物镜镜头的装调装置,其特征在于,所述矩形板(2)的下端与底座(1)的上端均经过光滑打磨处理。