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专利号: 2023103877828
申请人: 合肥工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.集成非对称F‑P腔的InSe基日盲紫外光电探测器,其特征在于:所述光电探测器是将厚度小于14 nm且大于等于7 nm的InSe二维薄片转移至共振波长位于日盲紫外波段的非对称F‑P腔上方,利用腔共振,增强日盲紫外波段的共振吸收,实现日盲紫外光电探测;所述非对称F‑P腔是由金属反射层与介质层组成的双层结构,所述介质层为HfO2、ZrO2、SiO2、Al2O3或Y2O3,所述介质层的厚度为20‑50 nm。

2. 根据权利要求1所述的集成非对称F‑P腔的InSe基日盲紫外光电探测器,其特征在于:所述InSe二维薄片的最小宽度大于1 μm。

3.根据权利要求1所述的集成非对称F‑P腔的InSe基日盲紫外光电探测器,其特征在于:所述非对称F‑P腔的金属反射层为日盲紫外波段强反射的Al。

4.根据权利要求3所述的集成非对称F‑P腔的InSe基日盲紫外光电探测器,其特征在于:所述金属反射层的厚度为30‑80 nm。

5.根据权利要求3所述的集成非对称F‑P腔的InSe基日盲紫外光电探测器,其特征在于:所述介质层是在金属反射层上通过原子层沉积设备沉积获得。

6.根据权利要求1所述的集成非对称F‑P腔的InSe基日盲紫外光电探测器,其特征在于:在所述InSe二维薄片上方还设置有与InSe呈欧姆接触的金属电极。