1.一种基于非晶Ga2O3薄膜的日盲紫外探测器,其特征在于,所述日盲紫外探测器由衬底、叉指电极与非晶Ga2O3薄膜层构成,所述叉指电极设置于衬底上表面,所述衬底与叉指电极被非晶Ga2O3薄膜层完全覆盖;
所述衬底采用石英衬底,所述叉指电极采用金电极、金电极的厚度为60nm,叉指电极的叉指长度、宽度、叉指间距分别为200um、4um、4um,所述非晶Ga2O3薄膜层的厚度为100nm;
所述日盲紫外探测器的响应度在10V偏压下为579A/W,所述日盲紫外探测器的光电流的上升时间和下降时间分别为42ms和8ms;
所述基于非晶Ga2O3薄膜的日盲紫外探测器由以下步骤制备:
步骤1.衬底预处理:对衬底进行切割、清洗;
步骤2.叉指电极制备:采用负胶光刻法制备叉指电极图案,再采用双源电子束物理气相沉积法制备金电极于衬底上表面;
步骤3.非晶Ga2O3薄膜制备:采用等离子体增强原子层沉积(PE‑ALD)法沉积非晶Ga2O3薄膜于衬底与叉指电极上表面;具体为:将样品放入原子层沉积设备中,设置反应的基底温度为200~250度、载气为高纯氮气,并温度保持在室温;采用TEG作为镓源、O2作为氧源送入反应腔:TEG前驱体注入0.5s~1s、N2吹扫5s~10s,O2等离子体注入10s~15s、N2吹扫5s~10s,重复1500~2500个循环,得到非晶Ga2O3薄膜,非晶Ga2O3薄膜为a‑Ga2O3薄膜。