1.一种晶圆上下料夹爪,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)顶部两侧固定连接有定位柱,所述定位柱外围套设连接有定位套,所述定位套顶部固定连接有托板(2),所述托板(2)顶部中心处固定连接有旋转箱(3),所述旋转箱(3)内部设有传动轴,所述传动轴顶部固定连接有C字型固定架,所述C字型固定架内部固定连接有驱动箱(4),所述驱动箱(4)下方设有安装架,所述安装架内部固定连接有抽气泵(5),所述抽气泵(5)一侧通过管道固定连接有吸气盘(6),所述吸气盘(6)底部固定连接有夹持装置(7)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆上下料夹爪,其特征在于:所述底板(1)顶部固定连接有滑轨,所述滑轨顶部滑动连接有滑块,所述滑块顶部转动连接有升降杆,所述升降杆顶部与托板(2)底部转动连接,所述升降杆之间转动连接有第一电动伸缩杆(8)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆上下料夹爪,其特征在于:所述旋转箱(3)内部固定连接有隔板,所述隔板底部两侧固定连接有传动电机,所述传动电机输出端固定连接有第一齿轮(9),所述第一齿轮(9)啮合连接有第二齿轮(10),所述第二齿轮(10)轴心处与传动轴固定连接,所述传动轴底部与隔板顶部转动连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆上下料夹爪,其特征在于:所述驱动箱(4)一侧固定连接有伺服电机,所述伺服电机输出端固定连接有丝杆(11),所述丝杆(11)外围螺纹连接有螺纹套(12),所述螺纹套(12)顶部与驱动箱(4)内壁滑动连接,所述螺纹套(12)底部与安装架顶部固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆上下料夹爪,其特征在于:所述吸气盘(6)底部中心处开设有吸嘴(13),所述夹持装置(7)包括固定环(14),所述固定环(14)外围固定连接有防护框,所述防护框内部固定连接有第二电动伸缩杆(15),所述第二电动伸缩杆(15)末端贯穿固定环(14)外壁固定连接有安装板。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆上下料夹爪,其特征在于:所述安装板一侧固定连接有阻尼缓冲弹簧,所述阻尼缓冲弹簧末端固定连接有弧形夹持板(16)。