1.一种晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，包括夹具、光源、第一滑板和第二滑板，第一滑板叠加在第二滑板的上方，夹具固定连接在第二滑板的下表面，光源连接在夹具中，其特征在于，所述第一滑板和第二滑板之间设置有第一调节机构，第一调节机构包括连接板、定位板、齿条、第一转轴、第二转轴、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮和手轮，连接板的一端与第一滑板侧边连接，另一端与定位板的端部连接，定位板朝向第二滑板的侧面开设有贯穿的安装口，第一转轴和第二转轴平行地分别设置在安装口中，手轮连接在第一转轴伸出定位板的一端上，第一齿轮固定套接在第一转轴上；第二齿轮和第三齿轮固定连接，套接在第二转轴上；齿条的一侧面与安装口的内侧面抵接，另一侧面与第三齿轮啮合连接，齿条的端部水平伸出与所述第二滑板连接。

2.根据权利要求1所述的晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，其特征在于，所述第一滑板和所述第二滑板相抵接的侧面之间设置有第一滑块导轨组件。

3.根据权利要求2所述的晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，其特征在于，所述晶圆缺陷测试仪的光源调节装置还包括安装板和第二调节机构，安装板叠加在所述第一滑板上；第二调节机构与所述第一调节机构结构相同，第二调节机构的齿条与第一调节机构的齿条垂直。

4.根据权利要求3所述的晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，其特征在于，所述第一滑板与所述安装板相抵接的侧面之间设置有第二滑块导轨组件。

5.根据权利要求4所述的晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，其特征在于，所述晶圆缺陷测试仪的光源调节装置还包括下板、竖杆、上板、下固定座、套环、上固定座、旋钮、螺母座和丝杆，竖杆的两端分别连接上板和下板，上固定座、螺母座和下固定座分别设置在上板、安装板和下板上，丝杆的中部与螺母座螺接，丝杆的两端分别与上固定座和下固定座转动连接，旋钮连接在丝杆的端部；安装板的有一端与套环连接，套环套接在竖杆上。

6.根据权利要求1所述的晶圆缺陷测试仪的光源调节装置，其特征在于，所述第二齿轮的直径大于所述第一齿轮、所述第三齿轮的直径。