1.一种半导体加工设备用承载装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上开设有废料口(8)，所述底板(1)上固定连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)上固定连接有固定板(3)，所述固定板(3)上固定连接有限位块(4)，所述限位块(4)上接触有收集盒(5)，所述收集盒(5)分别与固定板(3)及底板(1)接触，所述底板(1)上设置有安装机构(6)，所述固定板(3)收集盒(5)上设置有抽吸机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工设备用承载装置，其特征在于：所述安装机构(6)包括螺杆(61)、转盘(62)、螺套(63)、支撑块(64)、夹块(65)，所述底板(1)的内部通过轴承连接有两个对称的螺杆(61)，所述螺杆(61)上固定连接有转盘(62)，所述转盘(62)与底板(1)接触，所述螺杆(61)的外侧通过螺纹连接有螺套(63)，所述螺套(63)与底板(1)滑动连接，所述螺套(63)上固定连接有支撑块(64)，所述支撑块(64)与底板(1)接触，所述支撑块(64)上固定连接有夹块(65)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工设备用承载装置，其特征在于：所述抽吸机构(7)包括气泵(71)、抽气口(72)、过滤板(73)、滤网(74)、导流板(75)，所述固定板(3)上固定连接有气泵(71)，所述气泵(71)上设置有抽气口(72)，所述抽气口(72)与固定板(3)固定连接，所述抽气口(72)与收集盒(5)接触，所述收集盒(5)的内部固定连接有过滤板(73)，所述过滤板(73)上设置有滤网(74)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工设备用承载装置，其特征在于：所述支撑板(2)的数量为两个，两个所述支撑板(2)在底板(1)上对称分布。

5.根据权利要求2所述的一种半导体加工设备用承载装置，其特征在于：所述螺杆(61)上设置有正螺纹和反螺纹，所述正螺纹和反螺纹在螺杆(61)上对称分布。

6.根据权利要求3所述的一种半导体加工设备用承载装置，其特征在于：所述收集盒(5)的内部固定连接有导流板(75)，所述导流板(75)与底板(1)接触。