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专利号: 202222031073X
申请人: 常州宸展光电科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种可翻转的硅片用抛光装置,包括底座(1),所述底座(1)的上方两端均固定连接有固定板(2),且底座(1)的后侧上方固定连接有支撑板(3),所述支撑板(3)的侧视为“7”字形结构;

其特征在于,还包括:

固定环(4),设置在所述支撑板(3)的底部中心处,所述固定环(4)为伸缩结构,且固定环(4)的内侧壁啮合连接有副齿轮(402),所述固定环(4)的内侧中心处通过第二电机连接有主齿轮(401),所述主齿轮(401)与副齿轮(402)啮合连接,且副齿轮(402)的底部固定连接有抛光轮(10);

所述固定板(2)的外侧壁安装有驱动电机(5),且固定板(2)的内侧壁轴承连接有电动推杆(7),所述驱动电机(5)输出端的驱动轴与电动推杆(7)固定连接;

加工台(6),设置在所述底座(1)的顶部中心处,且加工台(6)的两侧壁均安装有吸尘风扇(11)。

2.根据权利要求1所述的一种可翻转的硅片用抛光装置,其特征在于:所述电动推杆(7)的内端设置有套筒(8),所述套筒(8)的外侧壁与电动推杆(7)的外侧壁固定连接,且套筒(8)的内部设置有安装块(12),所述安装块(12)的前后两侧壁均通过固定杆与固定板(2)的内侧壁固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种可翻转的硅片用抛光装置,其特征在于:所述安装块(12)的上下两侧壁均开设有滑槽(13),所述套筒(8)的内侧壁固定连接有滑块(14),所述滑块(14)和滑槽(13)构成滑动结构。

4.根据权利要求3所述的一种可翻转的硅片用抛光装置,其特征在于:所述安装块(12)的内侧活动轴连接有夹持板(9),所述夹持板(9)为折弯结构,且夹持板(9)的内侧壁套设有夹持垫(17),所述夹持垫(17)为橡胶材质。

5.根据权利要求1所述的一种可翻转的硅片用抛光装置,其特征在于:所述加工台(6)的上表面开设有通孔(16),所述通孔(16)均匀分布在加工台(6)上,且加工台(6)对应设置在所述抛光轮(10)的正下方。

6.根据权利要求1所述的一种可翻转的硅片用抛光装置,其特征在于:所述加工台(6)的内部安装有过滤网(15),所述过滤网(15)为弧形结构,所述吸尘风扇(11)对应设置在过滤网(15)的下方,且吸尘风扇(11)的进风口处也安装有过滤网(15)。