利索能及
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专利号: 2022219382370
申请人: 中国计量大学
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种柔性薄膜压力传感器,其特征在于:所述压力传感器由螺旋线圈、绝缘薄膜、叉指电极、弹性薄膜、铁氧体薄膜和基底层组成;所述螺旋线圈和所述叉指电极分别设于所述绝缘薄膜两侧,并通过所述绝缘薄膜上设置的通孔相连,组成LC谐振电路;所述弹性薄膜设于所述螺旋线圈、所述叉指电极和所述绝缘薄膜的下方;所述铁氧体薄膜设于所述弹性薄膜的下方。

2.如权利要求1所述的一种柔性薄膜压力传感器,其特征在于:所述绝缘薄膜为聚酰亚胺薄膜。

3.如权利要求1所述的一种柔性薄膜压力传感器,其特征在于:所述螺旋线圈和叉指电极的材料为铜或银。

4.如权利要求1所述的一种柔性薄膜压力传感器,其特征在于:所述弹性薄膜具有中空双层结构。

5.如权利要求1所述的一种柔性薄膜压力传感器,其特征在于:所述弹性薄膜收到压力作用时的最大压缩率为50%。