1.一种柔性压力传感器,其特征在于:包括封装层、敏感层、导电层、电极层和柔性基底;所述敏感层上表面采用金字塔结构;所述敏感层的材料为掺杂TEMs的PDMS;所述电极层采用平面式叉指电极。
2.根据权利要求1所述的一种柔性压力传感器,其特征在于:所述敏感层上表面金字塔底部正方形边长为0.5~0.8mm,高度为0.6~1.0mm,间距为0.1~0.2mm。
3.根据权利要求1所述的一种柔性压力传感器,其特征在于:所述敏感层的材料为掺杂TEMs的PDMS,厚度为1.0~1.5mm。
4.根据权利要求1所述的一种柔性压力传感器,其特征在于:所述导电层材料采用铜,厚度为0.2~0.3mm。
5.根据权利要求1所述的一种柔性压力传感器,其特征在于:所述电极层采用平面式叉指电极,指长为10~15mm,叉指间距为0.35~0.5mm。
6.根据权利要求1所述的一种柔性压力传感器,其特征在于:所述封装层采用PI薄膜,厚度为0.3~0.8mm。
7.根据权利要求1所述的一种柔性压力传感器,其特征在于:所述柔性基底采用PU薄膜,厚度为0.2~0.6mm。