1.一种去除CVD反应腔体内壁沉积膜的装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部焊接有竖梁(2),所述竖梁(2)的内壁转动连接有螺纹杆(3),所述底座(1)内腔的顶部固定安装有第一电机(4),所述第一电机(4)的输出轴与螺纹杆(3)的底部固定安装,所述螺纹杆(3)的表面螺纹连接有套筒(5),所述套筒(5)的左侧焊接有横梁(6);
所述横梁(6)内腔的左侧固定安装有第二电机(7),所述第二电机(7)的输出轴固定安装有主动轮(8),所述主动轮(8)的表面绕设有皮带,所述主动轮(8)通过皮带传动连接有从动轮(9),所述从动轮(9)的内壁固定安装有转管(10),所述转管(10)的底部贯穿到横梁(6)的外部,所述转管(10)的底部连通有吸尘罩(11),所述转管(10)的两侧均固定安装有套管(12),所述套管(12)的内壁滑动连接有支杆(13),所述支杆(13)的一端固定安装有刮板(14);
所述横梁(6)的底部连通有软管(15),所述软管(15)的另一端与底座(1)的顶部连通,所述底座(1)内腔底部的右侧固定安装有抽气机(16),所述抽气机(16)的排气端贯穿到底座(1)的外部,所述底座(1)的正面插入有收集盒(17)。
2.根据权利要求1所述的去除CVD反应腔体内壁沉积膜的装置,其特征在于:所述收集盒(17)位于软管(15)的正下方,所述收集盒(17)的右侧开设有气口,且气口的内壁固定安装有挡网(18)。
3.根据权利要求1所述的去除CVD反应腔体内壁沉积膜的装置,其特征在于:所述抽气机(16)的排气端连通有输送管(19),所述输送管(19)的另一端连通有分流管(20),所述分流管(20)底部的两侧均连通有喷气管(21),所述喷气管(21)贯穿横梁(6)并延伸至其下方。
4.根据权利要求1所述的去除CVD反应腔体内壁沉积膜的装置,其特征在于:所述套管(12)的内壁焊接有弹簧(22),所述弹簧(22)的另一端与支杆(13)的表面焊接。
5.根据权利要求1所述的去除CVD反应腔体内壁沉积膜的装置,其特征在于:所述横梁(6)的底部焊接有加固架(23),所述加固架(23)的内壁固定安装有轴承,且轴承的内圈与转管(10)的表面固定安装,所述加固架(23)通过轴承与转管(10)转动连接。
6.根据权利要求1所述的去除CVD反应腔体内壁沉积膜的装置,其特征在于:所述横梁(6)的内壁焊接有隔板(24),所述隔板(24)位于软管(15)的右侧。
7.根据权利要求1所述的去除CVD反应腔体内壁沉积膜的装置,其特征在于:所述竖梁(2)的左侧开设有滑槽,且滑槽的内腔滑动连接有滑块(25),所述滑块(25)的左侧与横梁(6)的右侧焊接。