1.处理半导体制程废气的旋风式合氧加热装置，包括进气筒(1)、混合筒(2)和加热机构(3)，其特征在于，所述进气筒(1)外侧壁靠近底部处固定连接有废气管(6)，所述进气筒(1)底部固定连接有第一电机(4)，所述第一电机(4)驱动轴贯穿进气筒(1)并固定连接有螺旋输送杆(5)；

所述混合筒(2)底部两端均固定连接有氧气桶(8)，所述氧气桶(8)底部设置有进气扇(9)，所述氧气桶(8)内部靠近进气扇(9)处设置有过滤组件(10)，所述氧气桶(8)与进气筒(1)之间共同固定连接有连接管(11)，所述混合筒(2)外顶部固定连接有第二电机(12)，所述第二电机(12)驱动轴贯穿混合筒(2)并固定连接有旋风风扇(13)；

所述加热机构(3)包括第一加热箱(14)和第二加热箱(15)，所述第一加热箱(14)与第二加热箱(15)之间通过流通管(16)接通，所述第二加热箱(15)顶部贯穿固定连接有排气管(17)。

2.根据权利要求1所述的处理半导体制程废气的旋风式合氧加热装置，其特征在于，所述进气筒(1)顶部与混合筒(2)底部中心处固定连接，所述进气筒(1)与混合筒(2)之间通过单向阀(7)接通。

3.根据权利要求1所述的处理半导体制程废气的旋风式合氧加热装置，其特征在于，所述进气扇(9)与对应的氧气桶(8)底部螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的处理半导体制程废气的旋风式合氧加热装置，其特征在于，所述过滤组件(10)包括两个过滤网(101)，两个所述过滤网(101)之间共同固定连接有两个安装杆(102)，两个所述安装杆(102)外侧壁中部固定连接有限位环(103)，所述限位环(103)内部设置有过滤棉(104)。

5.根据权利要求4所述的处理半导体制程废气的旋风式合氧加热装置，其特征在于，所述过滤棉(104)内部嵌入固定连接有若干个活性炭颗粒。

6.根据权利要求1所述的处理半导体制程废气的旋风式合氧加热装置，其特征在于，所述流通管(16)断面呈“L”形设置，所述流通管(16)顶部贯穿第一加热箱(14)外壁靠近顶部处，所述流通管(16)底部贯穿第二加热箱(15)外壁靠近底部处。

7.根据权利要求1所述的处理半导体制程废气的旋风式合氧加热装置，其特征在于，所述第一加热箱(14)底部与混合筒(2)顶部接通。