1.一种单晶硅差压传感器,其特征在于,包括左腔部、右腔部和传感器组件,所述左腔部上设有左侧波纹膜片,所述左腔部内设有左侧导油槽,所述右腔部上设有右侧波纹膜片,所述右腔部内设有右侧导油槽,所述左侧导油槽与右侧导油槽对称设置且容积相等,所述左腔部和右腔部之间设有中心膜片,所述传感器组件包括由下至上依次相连的填料层、转接块、陶瓷块、单晶硅片和芯片组件,所述填料层和转接块设于左腔部上端,所述单晶硅片连通左侧导油槽与右侧导油槽,所述芯片组件外侧套设有限位套,所述填料层包括左填料块和右填料块,所述左腔部上端面设有第一限位柱,所述右腔部上端面设有第二限位柱。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅差压传感器,其特征在于,所述转接块与芯片组件连接处设有第一焊接块,所述转接块上端设有第一凹槽,所述芯片组件下端设有第二凹槽,所述第一焊接块焊接于第一凹槽与第二凹槽之间,所述填料层内侧设有第三凹槽,所述第三凹槽内设有第二焊接块,所述第二焊接块连接填料层与转接块。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅差压传感器,其特征在于,所述左侧导油槽包括左侧导油槽一、左侧导油槽二和左侧导油槽三,所述左侧导油槽一左端连接左侧波纹膜片中部,左侧导油槽一右端连接中心膜片左端,所述左侧导油槽二左端连接左侧波纹膜片上端,左侧导油槽二右端连接左侧导油槽三下端,所述左侧导油槽三上端连接单晶硅片,所述右侧导油槽包括右侧导油槽一、右侧导油槽二和右侧导油槽三,所述右侧导油槽一左端连接中心膜片右端,右侧导油槽一右端连接右侧波纹膜片中部,所述右侧导油槽二右端连接右侧波纹膜片上端,右侧导油槽二左端连接右侧导油槽三的下端,所述右侧导油槽三上端连接单晶硅片。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅差压传感器,其特征在于,所述中心膜片为平膜片。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅差压传感器,其特征在于,所述转接块通过激光焊接连接于左腔部上端面。