1.一种三自由度柔性并联运动系统，其特征在于，包括视觉检测机构和三自由度柔性并联运动平台，所述三自由度柔性并联运动平台包括固定平台，固定平台上设有三条支链和动平台，三条支链呈120°旋转对称均匀分布在动平台外围，每条支链一端连接动平台，另一端连接微型直线伺服驱动器，所述固定平台上设有三个固定座，所述微型直线伺服驱动器与固定座固定连接，所述支链包括至少两个串联的变直径螺旋型柔性铰链，微型直线伺服驱动器驱动支链位移以实现动平台水平和竖直方向的位移；

所述视觉检测机构固定于动平台顶部，视觉检测机构连接微型直线伺服驱动器以实现动平台的闭环控制；所述固定平台位于底板上，底板上的固定平台两侧设有龙门架，龙门架通过固定角件与底板固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种三自由度柔性并联运动系统，其特征在于，所述支链一端通过固定螺栓与动平台固定连接，另一端通过固定螺栓与微型直线伺服驱动器连接。

3.根据权利要求1所述的一种三自由度柔性并联运动系统，其特征在于，所述动平台内部为三角形结构。

4.根据权利要求1所述的一种三自由度柔性并联运动系统，其特征在于，所述变直径螺旋型柔性铰链包括两端的连接块，两个连接块之间为螺旋型结构。

5.根据权利要求1所述的一种三自由度柔性并联运动系统，其特征在于，所述视觉检测机构位于龙门架顶部横梁上，视觉检测机构包括工业相机，工业相机位于动平台顶部十字标记点的正上方。

6.根据权利要求5所述的一种三自由度柔性并联运动系统，其特征在于，所述龙门架上还设有LED灯，工业相机连接计算机，计算机连接驱动控制器，驱动控制器连接微型直线伺服驱动器。

7.根据权利要求6所述的一种三自由度柔性并联运动系统，其特征在于，龙门架横梁上设有夹紧件，所述工业相机通过夹紧件固定。