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应用于加速度传感芯片生产的晶圆清洗设备
￥13000
专利号： 2022109230728
申请人： 苏州米洛微纳电子科技有限公司
专利类型：发明专利
专利状态：已下证
更新日期：2025-12-30
缴费截止日期： 暂无
国家局暂未公布该信息
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