利索能及
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专利号: 2022106629435
申请人: 江苏科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-03-02
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆抛光液搅拌装置,其特征在于,包括机架、辅助支撑单元、滚筒、搅拌单元、入料单元、出料单元以及动力部;所述滚筒由所述机架负担,且呈水平态布置;所述辅助支撑单元组装于所述机架上,且协同所述机架以对所述滚筒的轴向窜动量以及径向偏摆量进行限制;所述搅拌单元内置于所述滚筒内,借助于其自身周向旋转运动以执行抛光液的混合操作;所述入料单元与所述滚筒相配套应用,以向着所述滚筒的内腔输入待混合抛光液或/和添加剂;所述出料单元亦与所述滚筒相配套应用,以将混合后的抛光液由所述滚筒的内腔泵出;所述动力部由所述机架负担,以向着所述滚筒输出第一转动力矩,与此同时,向着所述搅拌单元输出第二转动力矩;所述第一转动力矩和所述第二转动力矩相反向;

所述动力部包括有第一电机和齿轮传动单元;所述第一电机布置于所述滚筒的左侧;所述齿轮传动单元包括有主动齿轮、第一从动齿轮以及第二从动齿轮;所述主动齿轮由所述第一电机直接驱动;所述第一从动齿轮与所述主动齿轮相啮合,其与所述滚筒相配套应用,以接收经由所述主动齿轮传递而来的所述第一转动力矩;所述第二从动齿轮与所述主动齿轮相啮合,其与所述搅拌单元相配套应用,以接收经由所述主动齿轮传递而来的所述第二转动力矩;

所述滚筒为分体式结构,其依序由左置端盖、中间筒体和右置端盖连接而成;所述第一从动齿轮可拆卸地固定于所述左置端盖的左侧壁上、且跟随所述左置端盖同步地执行周向旋转运动;所述第二从动齿轮布置于所述左置端盖的正左侧,且可独立于所述左置端盖自由地执行周向旋转运动;

所述中间筒体设有用来加快抛光液混合进程的扰流单元;

所述扰流单元为均布于所述中间筒体内侧壁上的条形凸起、或为均布于所述中间筒体内侧壁上的条形凹槽、或为成型于所述中间筒体内侧壁上螺旋形凸起,抑或为成型于所述中间筒体内侧壁上螺旋形凹槽;

所述机架呈框架式结构,其包括有左置支撑框、右置支撑框以及联系单元;所述左置支撑框和所述右置支撑框相平行而置,且间隔设定距离;所述联系单元由多个同时联系于所述左置支撑框和所述右置支撑框之间的连杆构成;当所述滚筒相对于所述机架固定到位后,所述左置端盖相对于所述左置支撑框保持齐平,而所述右置端盖相对于所述右置支撑框保持齐平;

所述入料单元包括有储液槽、进料弯管以及截止阀;所述储液槽可拆卸地固定于所述左置支撑框上,且其底壁上开设有出料口;所述进料弯管用来沟通所述储液槽和所述滚筒,且横穿过所述左置端盖;所述进料弯管的进口与所述出料口相沟通,而其出口与所述滚筒的内腔相沟通;所述截止阀被装配于所述进料弯管上,以实施/中止抛光液的流通进程;

所述出料单元包括有出料弯管以及泵送单元;所述出料弯管用来沟通所述滚筒和所述泵送单元,且横穿过所述右置端盖;所述泵送单元布置于所述机架的右侧,借助于负压效应将混合后的抛光液经由所述出料弯管排出;

所述泵送单元包括有第二电机、辅助承力件、限位组件、挤压组件以及软管;所述辅助承力件与所述第二电机固定为一体,且由其右侧壁继续向右延伸出有顶靠凸缘;所述软管与所述出料弯管的出口端相对接,且在所述限位组件的辅助作用下始终与所述顶靠凸缘保持于贴触状态;所述限位组件由多个成型于所述辅助承力件右侧壁上的、沿着所述顶靠凸缘的长度延伸方向进行均布的、且协同所述顶靠凸缘以实现所述软管收纳操作的U形卡扣件构成;所述挤压组件由所述第二电机直接驱动,且包括有一安装板和至少3个滚压轮;所述安装板平行地布置于所述辅助承力件的正右侧,且在所述第二电机的驱动力作用下可绕其中心轴线自由地执行周向旋转运动;所述滚压轮均组装于所述安装板上,且围绕所述安装板的中心轴线进行周向均布;工作模式下,所述第二电机启动,所述安装板在旋转扭矩作用下绕其中心轴线自由地执行周向旋转运动,而所述滚压轮依序完成对所述软管的间歇性挤压,经混合后的抛光液在负压作用下依序经由所述出料弯管、所述软管而泵出。

2.根据权利要求1所述的晶圆抛光液搅拌装置,其特征在于,所述搅拌单元包括有左置旋转套、凵形扰流件、辅助支撑杆以及右置旋转套;所述左置旋转套与所述第一从动齿轮固定为一体,且被所述进料弯管所穿越;而与所述左置旋转套相对而置的所述右置旋转套组装于所述右置端盖,可绕其中心轴线自由地执行周向旋转运动,且被所述出料弯管所穿越;所述凵形扰流件的数目设为多个,且均同时连接于所述左置旋转套和所述右置旋转套之间;所述辅助支撑杆的数目设为多个,且用来联系所述凵形扰流件中的任意二件。

3.根据权利要求2所述的晶圆抛光液搅拌装置,其特征在于,所述搅拌单元还包括有扰流螺旋件;所述扰流螺旋件被多件所述凵形扰流件所协同固定,且沿着所述滚筒的中心轴线延伸方向进行螺旋状扭转。