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专利号: 2022106307713
申请人: 南京信息工程大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器,其特征是,包括能够引起的F_P模式的纳米陀螺形结构阵列,且纳米陀螺形结构阵列中部设置有能够引起圆盘SPP模式的圆盘阵列,所述纳米陀螺形结构阵列的F_P模式和圆盘阵列的圆盘SPP模式叠加形成Fano模式,所述纳米陀螺形结构阵列中还设置有吸水材料,且吸水材料在不同湿度的空气中,通过自身吸水量的变化改变纳米陀螺形结构阵列的谐振模式,进而使纳米陀螺形结构阵列在光照下反射出不同颜色的光。

2.根据权利要求1所述的纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器,其特征是,所述吸水材料填充于纳米陀螺形结构阵列中。

3.根据权利要求1所述的纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器,其特征是,所述吸水材料旋涂于纳米陀螺形结构阵列中的纳米线上。

4.根据权利要求1所述的纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器,其特征是,所述纳米陀螺形结构阵列部的圆盘阵列的薄圆盘直径为20nm‑80nm。

5.根据权利要求1所述的纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器,其特征是,通过电化学沉积法制备多根纳米线,采用多孔氧化铝模板制备纳米线阵列,在纳米线阵列中镀一层材料,并转移一层微球掩膜版,通过选择性刻蚀镀的材料且去除微球和氧化铝填充,得到纳米陀螺形阵列。

6.根据权利要求1所述的纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器,其特征是,所述纳米陀螺形结构阵列中的纳米线通过电化学沉积法制备。

7.一种纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器制备方法,其特征是,包括:

通过电化学沉积法制备多根纳米线,采用多孔氧化铝模板制备纳米线阵列;

在纳米线阵列中镀一层材料,并转移一层微球掩膜版,通过选择性刻蚀镀的材料且去除微球和氧化铝填充,得到纳米陀螺形阵列;

在纳米陀螺形结构阵列的中部设置圆盘阵列,其中,纳米陀螺形结构阵列的F_P模式和圆盘阵列的圆盘SPP模式叠加形成Fano模式;

在纳米陀螺形结构阵列中设置吸水材料。

8.根据权利要求7所述的纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器制备方法,其特征是,所述吸水材料填充于纳米陀螺形结构阵列中。

9.根据权利要求7所述的纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器制备方法,其特征是,所述吸水材料旋涂于纳米陀螺形结构阵列中的纳米线上。