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专利号: 2015104049172
申请人: 宁波工程学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-13
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.SiC纳米阵列,其特征在于:包括基体和形成于基体表面的纳米阵列, 所述纳米阵列为SiC纳米线排列,其中SiC纳米线中SiC晶型为C型或者H型或者R型; 所述SiC纳米阵列中纳米线的阵列密度为(5.0-6.0) X 17根/cm2。

2.根据权利要求1所述的SiC纳米阵列,其特征在于:所述SiC纳米阵列中SiC纳米线的阵列密度为(5.2-5.7) X 17根/cm 2。

3.根据权利要求1所述的SiC纳米阵列,其特征在于:所述基体为SiC基体,其中SiC基体的晶型包括 3C-SiC、2H-SiC、4H-SiC、6H-SiC、15R-SiC 中的任一。

4.根据权利要求1所述的SiC纳米阵列,其特征在于:所述SiC纳米线中SiC晶型为C型时SiC为3C-SiC ;所述SiC纳米线中SiC晶型为H型时SiC为2H-SiC、4H-SiC、6H_SiC中任一;所述SiC纳米线中SiC晶型为R型时SiC为15R-SiC。

5.根据权利要求1所述的SiC纳米阵列,其特征在于:所述纳米阵列为SiC纳米线取向排列。

6.根据权利要求1或5所述的SiC纳米阵列,其特征在于:所述纳米阵列为SiC纳米线取向均匀排列。

7.根据权利要求1或2或4或5所述的SiC纳米阵列,其特征在于:所述SiC纳米线的长度范围为2-15微米。

8.根据权利要求1或2或4或5任一所述的SiC纳米阵列,其特征在于:所述SiC纳米线的平均直径(以纳米线距基体表面1/3处直径计)范围为0.1-0.3微米。

9.根据权利要求7所述的SiC纳米阵列,其特征在于:所述SiC纳米线的平均直径(以纳米线距基体表面1/3处直径计)范围为0.1-0.3微米。